[发明专利]一种单面研磨抛光机的研磨抛光盘无效
申请号: | 201210350099.9 | 申请日: | 2012-09-20 |
公开(公告)号: | CN103659576A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 任明元;吴向明 | 申请(专利权)人: | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/11 | 分类号: | B24B37/11;B24D3/06 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 曹毅 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单面 研磨 抛光机 抛光 | ||
1.一种单面研磨抛光机的研磨抛光盘,包括垫盘(1),在所述垫盘(1)上方设置的研抛盘(4),所述研抛盘(4)为纯铜研抛盘,所述垫盘(1)为不锈钢垫盘,所述研抛盘(4)与所述垫盘(1)之间用环氧树脂软胶(6)粘接、固化复合成一个整体。
2.根据权利要求1所述的单面研磨抛光机的研磨抛光盘,其特征在于,所述垫盘(1)与所述研抛盘(4)接触面上设有便于定位及承载溢流的所述环氧树脂软胶(6)的切槽(3)。
3.根据权利要求1所述的单面研磨抛光机的研磨抛光盘,其特征在于,所述研抛盘(4)与所述垫盘(1)之间设有定位拨销(2)。
4.根据权利要求1、2、3所述的单面研磨抛光机的研磨抛光盘,其特征在于,所述垫盘(1)上设有与其下方设有的水冷盘(7)连接用的螺纹孔(5)。
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