[发明专利]一种直写式光刻系统的FPGA中倾斜数据准备的方法有效
| 申请号： | 201210349926.2 | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102890427A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 陈勇;陈修涛;张爱民 | 申请（专利权）人： | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 300457 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直写式 光刻 系统 fpga 倾斜 数据 准备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种直写式光刻系统的FPGA中倾斜数据准备的方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）首先将上位分图计算机输出的灰度图数据按扫描行格式存放到DDR中；
（2）在灰度图数据达到一定的行数后，FPGA中控制模块控制从DDR中按倾斜因子N制定的间距读取数据并经数据总线到FPGA的RAM中缓冲；
（3）FPGA中控制模块再按倾斜因子N制定的格式从FPGA的RAM中读出倾斜后数据，输入到转换矩阵进行灰度的转换和扫描数据的抽取；
（4）转换后的数据经数据总线再存入FPGA的RAM中缓冲，并等待在下一个操作周期时写入DDR的微镜DMD扫描显示数据区。
2.根据权利要求1所述的直写式光刻系统的FPGA中倾斜数据准备方法，其特征在于，所述的DDR是指动态同步存储器DDR2或DDR3。
3.根据权利要求1所述的直写式光刻系统的FPGA中倾斜数据准备方法，其特征在于，所述的FPGA是Xilinx公司的V5、V6、V7系列的型号FPGA。
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