[发明专利]移动加热器法生长碲锌镉晶体的装置

权利要求书

1.一种移动加热器法生长碲锌镉晶体的装置，包括炉架（7）、设置于所述炉架（7）上方的生长炉体，装载碲锌镉晶体生长材料的石英料管置于氧化铝支撑杆上，氧化铝支撑杆置于所述生长炉体内，循环冷却水系统（3）和搜书生长炉体共同控制晶体生长过程的温度，其特征在于：所述生长炉体竖直安装，所述生长炉体的中间加热段设有高频电磁感应加热器（2），所述生长炉体的上段和下段为上下电阻加热炉（1），所述上下电阻加热炉（1）形成所述生长炉体中间加热段的保温区，所述氧化铝支撑杆的底端与伺服旋转机构（5）的旋转主轴传动端同轴固定连接，所述伺服旋转机构（5）驱动所述氧化铝支撑杆带动石英料管转动，所述生长炉体的外部还设有伺服直线移动机构（4），所述伺服直线移动机构（4）驱动所述生长炉体在竖直方向上进行升降运动，所述伺服旋转机构（5）和所述伺服直线移动机构（4）的指令信号输入端与控制系统（6）的信号输出端信号连接， 在碲锌镉晶体生长过程中，红外测温仪监测碲锌镉晶体生长点的温度，并将温度数值反馈给所述控制系统（6），所述控制系统（6）控制所述高频电磁感应加热器（2）和所述上下电阻加热炉（1）的输出功率，从而使碲锌镉晶体生长温度稳定在设定值，所述控制系统（6）控制所述伺服旋转机构（5）并使碲锌镉晶体生长材料处于所述生长炉体的中间加热段，所述控制系统（6）控制所述伺服直线移动机构（4）匀速上升，同时控制所述伺服旋转机构（5）使所述石英料管匀速旋转。

2.根据权利要求1所述的移动加热器法生长碲锌镉晶体的装置，其特征在于：所述高频电磁感应加热器（2）的温度设置为700～950℃之间，所述上下电阻加热炉（1）的温度保持为400～600℃之间，保温时间为12～48h，所述伺服直线移动机构（4）的上升速度为0.01～2mm/h，所述伺服旋转机构（5）的转速度为5～20r/min。

3.根据权利要求1或2所述的移动加热器法生长碲锌镉晶体的装置，其特征在于：所述的生长材料为核辐射探测器级别的碲锌镉晶体。