[发明专利]一种大行程、高精度的微动台

权利要求书

1.一种大行程、高精度的微动台，其特征在于包括宏运动部分、微运动部分、微电脑控制装置，宏运动部分包括直线导轨、由精密滚珠丝杠机构带动的宏动台、光栅测量器，微运动部分包括设置在宏动台上的微动驱动机构、由微动驱动机构带动的工件固装置、激光干涉测量仪，光栅测量器的电信号输出、激光干涉测量仪的电信号输出分别与微电脑控制装置的电信号输入相连，微电脑控制装置的控制电信号输出分别与精密滚珠丝杠机构的控制电信号输入、微动驱动机构的控制电信号输入相连。

2.根据权利要求1所述的大行程、高精度的微动台，其特征在于微动驱动机构包括设置在宏动台上的三套以上的三自由度移动单元、三套微动动力装置，三自由度移动单元包括固定在宏动台上的导槽、通过第一导轨滑动设置在导槽上的中间构件、转动设置在中间构件上的转盘、设置在转盘上的第二导轨、通过导槽滑动设置在第二导轨上的基座，第二导轨与第一导轨相互垂直，其中两相邻的三自由度移动单元的第一导轨相互平行，并垂直于另外的三自由度移动单元的第一导轨，微动动力装置包括固定在宏动台上的立柱、设置在立柱与中间构件间的压电陶瓷。

3.根据权利要求2所述的大行程、高精度的微动台，其特征在于三自由度移动单元呈多边形分布，多边形的边的数量与三自由度移动单元的数量相同。

4.根据权利要求2所述的大行程、高精度的微动台，其特征在于三自由度移动单元是三套，三套三自由度移动单元呈三角形分布。

5.根据权利要求4所述的大行程、高精度的微动台，其特征在于三套三自由度移动单元呈等边三角形分布。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的大行程、高精度的微动台，其特征在于在中间构件与宏动台间连接有柔性铰接。

7.根据权利要求1或2或3或4或5所述的大行程、高精度的微动台，其特征在于微电脑控制装置包括PC控制器、宏运动控制板、微运动控制板，光栅测量器的电信号输出、激光干涉测量仪的电信号输出分别与宏运动控制板的电信号输入、微运动控制板的电信号输入相连，宏运动控制板的控制电信号输出、微运动控制板的控制电信号输出分别与精密滚珠丝杠机构上的伺服驱动板的控制电信号输入、压电陶瓷上的压电陶瓷驱动器的控制电信号输入相连，PC控制器的电信号通信端分别与宏运动控制板的电信号通信端、微运动控制板的电信号通信端相连。

8.根据权利要求6所述的大行程、高精度的微动台，其特征在于微电脑控制装置包括PC控制器、宏运动控制板、微运动控制板，光栅测量器的电信号输出、激光干涉测量仪的电信号输出分别与宏运动控制板的电信号输入、微运动控制板的电信号输入相连，宏运动控制板的控制电信号输出、微运动控制板的控制电信号输出分别与精密滚珠丝杠机构上的伺服驱动板的控制电信号输入、压电陶瓷上的压电陶瓷驱动器的控制电信号输入相连，PC控制器的电信号通信端分别与宏运动控制板的电信号通信端、微运动控制板的电信号通信端相连。