[发明专利]一种用于区熔炉的内轴运动装置有效

专利信息
申请号: 201210338650.8 申请日: 2012-09-13
公开(公告)号: CN102912421A 公开(公告)日: 2013-02-06
发明(设计)人: 周鹏;张继宏;徐振斌;王军 申请(专利权)人: 北京京运通科技股份有限公司
主分类号: C30B13/32 分类号: C30B13/32;C30B29/06
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人: 史霞
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 熔炉 运动 装置
【说明书】:

技术领域

发明涉及内轴运动装置领域,特别涉及一种用于区熔炉的内轴运动装置。

背景技术

区熔单晶炉主要用于生产硅半导体材料,包括晶体熔化生长的主炉室、位于主炉室上端的籽晶提升结构和电控系统。成晶过程主要是通过控制和调整内轴移动和外轴转动来完成的,由于传统的区熔炉内轴与外轴同心度不好保证,同心度差,导致内轴在固定导向套内做直线滑动时会产生震动和摩擦阻力,直接影响内轴和外轴相对运动的稳定性,从而影响成晶率。

发明内容

本发明的目的是改善内轴和外轴的同心度,提高内轴的运动稳定性。为此,本发明提出了一种用于区熔炉的内轴运动装置,其特征在于,包括:

外轴,其里侧有内孔;

固定导向套,其与外轴内孔固定;

轴承座,其位于固定导向套的下端,内装有调心球轴承;

内轴,其穿过固定导向套与轴承座上端连接;

滚珠花键轴,其与轴承座下端连接;

滚珠丝杠轴,其上端与滚珠花键轴连接,下端与旋转同步带连接。

其中,内轴的旋转由外轴的旋转驱动。

优选的是,所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,所述固定导向套与外轴内孔利用锥度紧配合固定。

优选的是,所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,还包括滑动导向套,其固定在内轴上,并选用聚四氟乙烯和石墨制成。

优选的是,所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,还包括支撑套,其上端连接滚珠花键轴,下端与固定座连接。

优选的是,所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,还包括卡晶装置,其位于内轴的上端。

优选的是,所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,还包括两个驱动装置,分别与内轴和外轴连接。

优选的是,所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,所述的驱动装置为两台电机。

优选的是,所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,所述的一台电机驱动外面的一根花键轴带动旋转同步带,进而带动外轴旋转,外轴通过固定导向套带动内轴旋转。

优选的是,所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,所述的另一台电机驱动另一根花键轴带动旋转同步带,进而带动滚珠丝杠轴转动,滚珠丝杠轴将转动变成直线运动,使滚珠花键轴移动,实现内轴的轴向直线移动。

本发明实施例的运动原理:滚珠花键轴、轴承座和内轴相对外轴只做直线移动,滚珠丝杠轴相对外轴通过旋转进行直线移动。轴承座上安装的调心球轴承保证内轴旋转时,内轴下方的部件都不旋转。内轴的旋转通过外轴的旋转驱动,外轴被一台电机驱动旋转时,外轴通过固定导向套带动内轴旋转;内轴的轴向直线运动是另一台电机驱动旋转同步带,同步带带动滚珠丝杠轴旋转,滚珠丝杠轴转动变成直线运动,使滚珠花键轴移动,再带动内轴实现轴向直线运动,通过两个电机分别控制和调整内轴的转动和移动来成晶。本发明通过增加阻尼以减小震动,提高内轴运动的稳定性,改善内轴和外轴的同心度,提高内轴运动的控制精度,更有利于成晶。

附图说明

图1为本发明所述的用于区熔炉的内轴运动装置的结构示意图。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图作简单的介绍。

本发明提供了一种用于区熔炉的内轴运动装置,提高了内轴运动的稳定性,改善了内轴和外轴的同心度,提高了内轴运动的控制精度,从而使成晶率得以提高。

本发明实施例提供的一种用于区熔炉的内轴运动装置,其特征在于,包括::

外轴10,其里侧有内孔;

固定导向套2,其与外轴内孔固定;

轴承座4,其位于固定导向套的下端,内装有调心球轴承;

内轴3,其穿过固定导向套与轴承座上端连接;

滚珠花键轴5,其与轴承座下端连接;

滚珠丝杠轴9,其上端与滚珠花键轴连接,下端与旋转同步带8连接;

其中,内轴的旋转由外轴的旋转驱动。

所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,所述固定导向套与外轴内孔利用锥度紧配合固定。

所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,还包括滑动导向套,其固定在内轴上,并选用聚四氟乙烯和石墨制成。

所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,还包括支撑套,其上端连接滚珠花键轴,下端与固定座连接。

所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,还包括卡晶装置,其位于内轴的上端。

所述的用于区熔炉的内轴运动装置中,还包括两个驱动装置,分别与内轴和外轴连接。

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