[发明专利]一种螺旋圆形微电感器件及其制备方法

权利要求书

1.一种螺旋结构微电感器件，主要包括单位元件：衬底、引脚、螺线管线圈、磁芯、聚酰亚胺绝缘材料，其特征在于线圈以衬底为基础，由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成，线圈的两端连接引脚，线圈的底层线圈、顶层线圈、连接导体均通过聚酰亚胺与磁芯隔开，磁芯材料包括底层磁芯材料和顶层磁芯材料，螺旋线圈位于底层磁芯材料和顶层磁芯材料之间并用聚酰亚胺分开；具体采用如下方法制备：（1）在衬底的一面上溅射40-60nm厚的Ni层，甩厚为1-3μm光刻胶，烘干，温度为70-90℃，曝光，显影，刻蚀Ni层，丙酮去光刻胶，甩厚为1-3μm聚酰亚胺，固化，得到双面套刻对准符号；在衬底的另一面上淀积Zn底层，步骤同上，（2）在Zn层上做如下工艺：甩正胶，烘干，双刻线圈图形、曝光，显影，电镀底层线圈；方法同上，分别电镀铜连接导体、引脚、然后去除光刻胶和Zn层，甩聚酰亚胺，烘干固化，再抛，（3）溅射Pb保护层；粘结铁基非晶薄膜，甩正胶，烘干，双面套刻曝光与显影；刻蚀基非晶薄膜；去正胶；刻蚀Pb保护层，（4）方法同上对磁芯材料和环氧胶进行处理。

2.根据权利要求书1所述微电感器件，螺旋线圈为圆形线圈，线圈的外径尺寸小于磁芯材料的尺寸，其每一匝线圈宽度为30-50μm，厚度为15-18μm，线圈之间的间距为10-20μm，螺旋线圈匝数为10-30匝，各匝之间的间隔为35μm。

3.如权利要求1所述的微电感器件，其特征在于高频10-20MHz下的电感量大于3μH。

4.如权利要求1所述的微电感器件，其特征在于所述绝缘材料为聚酰亚胺，底层磁芯材料与衬底之间有一层环氧胶。