[发明专利]动态波前测试装置有效
| 申请号： | 201210337035.5 | 申请日： | 2012-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN102879109A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 段亚轩;陈永权;赵建科;徐亮;李坤;田留德 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00;G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 姚敏杰 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 动态 测试 装置 | ||
1.一种动态波前测试装置，其特征在于：所述动态波前测试装置包括主动光源、被动光源、分光镜、校准镜、标准镜头、微透镜阵列、CCD探测器以及计算机；所述分光镜设置在主动光源以及被动光源的入射光路上；所述分光镜将主动光源的入射光分为主动反射光及主动透射光；所述分光镜将被动光源的入射光分为被动透射光以及被动反射光；待测光学元件设置在主动反射光的光路上或者设置在被动光源的出射光路上；所述校准镜和标准镜头设置在分光镜与待测光学元件之间的光路上；所述微透镜阵列设置在被动透射光的光路上，或者设置在主动反射光经标准镜头透射和待测光学元件发射后再经标准镜头入射至分束镜后所形成的透射光的光路上；所述CCD探测器设置在经微透镜阵列后的出射光的光路上；所述计算机与CCD探测器电性相连。
2.根据权利要求1所述的动态波前测试装置，其特征在于：所述主动光源包括激光器以及扩束镜；所述扩束镜以及分光镜依次设置在激光器的出射光路上。
3.根据权利要求2所述的动态波前测试装置，其特征在于：所述待测光学元件是光学球面镜、光学非球面镜或光学系统。
4.根据权利要求3所述的动态波前测试装置，其特征在于：所述待测光学元件是光学非球面镜时，所述动态波前测试装置还包括辅助镜；所述辅助镜设置在标准镜头和待测光学非球面镜之间的光路上。
5.根据权利要求3所述的动态波前测试装置，其特征在于：所述待测光学元件是光学系统时，所述动态波前测试装置还包括辅助标准平面镜；所述辅助标准平面镜设置在主动反射光经待测光学系统后的出射光路上。
6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的动态波前测试装置，其特征在于：所述被动光源包括光源以及设置在光源出射光路上的离轴折返式平行光管；所述光源经离轴折返式平行光管后入射至待测光学系统上。
7.根据权利要求6所述的动态波前测试装置，其特征在于：所述离轴折返式平行光管包括平面镜以及离轴抛物面镜；所述光源依次经过平面镜以及离轴抛物面镜后入射至待测光学系统上。
8.根据权利要求7所述的动态波前测试装置，其特征在于：所述离轴折返式平行光管的口径大于待测光学系统的口径。
9.根据权利要求6所述的动态波前测试装置，其特征在于：所述光源是不同波段激光光源或白光光源。
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