[发明专利]一种微孔金属冷却镜及其制作方法

权利要求书

1.一种微孔金属冷却镜，它包括镜体和镜架二个部分，镜体包括通过钎焊连接成一体的镜面和泡沫金属微孔层，镜架有至少二个进出液体通道，冷却液通过镜架上的其中一个进出液体通道进入泡沫金属微孔层，冷却液在泡沫金属微孔层内部流动，然后再通过另一个进出液体通道流出，镜架位于泡沫金属微孔层的后面，并与镜体紧密连接。

2.根据权利要求1所述的微孔金属冷却镜，其特征在于，所述镜体还包括钎焊时将镜面和泡沫金属微孔层紧密连接起来过渡层，过渡层紧挨镜面的背面。

3.根据权利要求1或2所述的微孔金属冷却镜，其特征在于，所述泡沫金属微孔层的材料为Cu，Ni或Al，或其合金。

4.根据权利要求1或2所述的微孔金属冷却镜，其特征在于，所述镜面的材料是Cu、Mo、W、Si或SiC。

5.一种权利要求1所述微孔金属冷却镜的制备方法，将洁净的镜面与洁净的泡沫金属材料置入钎焊炉中钎焊从而得到镜体，钎焊温度范围在500℃到2000℃之间；再将镜架与镜体固定连接。

6.一种权利要求5所述的制备方法，其特征在于，在洁净的镜面置入钎焊炉前，先在进行镜面的背面上镀覆一层过渡层，过渡层材料为能够增加镜面和泡沫金属润湿性的材料。

7.一种权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述过渡层的厚度为500nm--80um。

8.一种权利要求5或6或7所述的制备方法，其特征在于，所述泡沫金属材料的孔隙在10nm到1mm之间，孔隙率在10％到95％之间。