[发明专利]掩模交接机构及具有该掩模交接机构的掩模台

权利要求书

1.一种掩模交接机构，其特征在于，所述掩模交接机构包括：

交接手，其顶部支撑并吸附掩模版；

垂直运动机构，所述垂直运动机构固定连接所述交接手的底部，并驱动所述交接手的沿垂向运动；以及，

旋转机构，所述旋转机构设置于所述垂直运动机构的底部，并驱动所述垂直运动机构和交接手沿Rz向旋转运动。

2.如权利要求1所述的掩模交接机构，其特征在于，所述垂直运动机构进一步包括：

导轨连接板，其上表面与所述交接手固定连接；

音圈电机，所述音圈电机的定子设置于旋转机构上，所述音圈电机的动子与所述导轨连接板下表面固定连接，并驱动所述导轨连接板沿垂向运动；

导轨，所述导轨沿垂向设置于旋转机构上并设有滑块，所述滑块与所述导轨连接板固定连接，为所述垂直运动机构提供垂直运动导向。

3.如权利要求2所述的掩模交接机构，其特征在于，所述导轨连接板与所述旋转机构之间还设有一复位装置，用于在所述掩模版完成交接后所述交接手复位于零位。

4.如权利要求2或3所述的掩模交接机构，其特征在于，所述旋转机构进一步包括：

旋转底板，设置于一基座上，所述旋转底板上分别固定连接所述音圈电机的定子和导轨，并使得所述垂直运动机构具有Rz向旋转功能；

编码尺，所述编码尺的读头固定设置在所述基座上，所述编码尺的尺带对应设置于所述旋转底板上，为所述旋转机构提供位置测量；

垂向气动轴承，所述垂向气动轴承固定设置在所述旋转底板下，并为所述旋转底板提供垂向支撑功能；

环形导轨，所述环形导轨设置在所述旋转底板与所述基座之间；

环形气浮轴承，所述环形气浮轴承设置在所述环形导轨与所述旋转底板之间，并为所述旋转底板提供Rz向导向功能；以及，

直线电机，所述直线电机的定子与所述基座固定连接，所述直线电机的动子与所述旋转底板固定连接，并为所述旋转机构提供Rz向驱动力。

5.一种具有如权利要求1～4中任一权利要求所述掩模交接机构的掩模台，所述掩模台沿Y向作扫描运动、沿X向作微动运动，其特征在于，所述掩模台包括：

承版台，所述承版台用于承载所述掩模版；

第一转接板和第二转接板，所述第一转接板和所述第二转接板分别设置在所述承版台的两侧，并分别通过固定设置在所述第一转接板和所述第二转接板下的第一气动轴承和第二气动轴承活动设置在一底座上；

第一电机和第二电机，所述第一电机和所述第二电机的定子固定设置在所述底座上，所述第一电机和第二电机的动子分别与所述第一转接板和第二转接板固定连接，为所述掩模台提供沿所述掩模台扫描运动方向和微动运动方向运动的驱动力；

第一光栅尺和第二光栅尺，所述第一光栅尺和所述第二光栅尺的读头或尺带分别设置于所述第一转接板和第二转接板上，所述第一光栅尺和所述第二光栅尺的尺带或读头分别对应设置在所述底座上，为所述掩模台初始化和所述第一电机和第二电机的运动控制提供位置测量信号；以及，

掩模交接机构，所述掩模交接机构固定设置在位于所述掩模台扫描运动方向上的一掩模交接位处。

6.如权利要求5所述的掩模台，其特征在于，所述承版台上还固定设置有垂直于掩模台扫描运动方向和微动运动方向的测量镜，对应所述测量镜还设置有激光干涉仪测量系统，为所述掩模台的运动控制提供位置测量信号。

7.如权利要求5～6中任一权利要求所述的掩模台，其特征在于，所述第一电机和所述第二电机中至少一个是粗微动一体式电机。

8.如权利要求7所述的掩模台，其特征在于，所述第一电机和所述第二电机均采用粗微动一体式电机，其分别包括：

线圈座，固定设置于第一转接板或第二转接板上，所述线圈座上设有粗动线圈和微动线圈；

磁铁座，所述磁铁座上间隔设置有分别对应粗动线圈和微动线圈的粗动磁铁和微动磁铁；

具有不同极性的所述粗动磁铁之间形成磁场，当所述粗动线圈通入电流后，所述第一电机或第二电机沿扫描运动方向输出驱动力；具有不同极性的所述微动磁铁之间形成磁场，当所述微动线圈通入电流后，所述第一电机或第二电机沿微动运动方向输出驱动力。