[发明专利]三维微驱四电极可置换探头

权利要求书

1.一种三维微驱四电极可置换探头，包括：

四电极探针座；

与所述四电极探针座配套的三维微驱四电极底座；

其特征在于，所述四电极探针座的中部及所述三维微驱四电极底座的上段均带有螺纹电极，所述四电极探针座的中部的螺纹与所述三维微驱四电极底座的上段的螺纹相互匹配以使所述四电极探针座可自由地旋入或旋出所述三维微驱四电极底座；所述四电极探针座在其顶部还包括中心留有四电极插槽的针尖架以及与所述四电极插槽匹配的四探针集成片；所述三维微驱四电极底座还包括三维粗驱动的压电陶瓷步进电机和三维微驱动的压电陶瓷扫描管。

2.根据权利要求1所述的三维微驱四电极可置换探头，其特征在于，所述针尖架具有固定在其底部的螺纹杆，在所述螺纹杆的下段具有三个用陶瓷片绝缘隔离的环形中空的铜电极，其中，所述三个铜电极相对应地通过第一铜线、第二铜线、第三铜线分别连接到所述四探针集成片上对应的第一探针、第二探针、第三探针上，所述针尖架的上部及所述螺纹杆通过第四铜线连接第四探针，所述铜线用导电胶粘在所述电极上。

3.根据权利要求1所述的三维微驱四电极可置换探头，其特征在于，扫描隧道显微镜的单电极探针的针尖架可旋入或旋出所述三维微驱四电极底座。

4.根据权利要求1所述的三维微驱四电极可置换探头，其特征在于，所述压电陶瓷管扫描管的外壁分为四个象限：+X，-X，+Y和-Y，在所述四个象限内互不相连地镀有四块尺寸相同的金属膜，其中，所述压电陶瓷扫描管的内壁被陶瓷层绝缘地隔离成四段铜电极，最上一段铜电极带内螺纹，所述内螺纹与所述四电极探针座的中部的螺纹匹配；其余三段铜电极的内壁上安装有钛合金弹簧片，用于配合所述四电极探针座的下段的第一电极、第二电极、第三电极，所述四段铜电极引出四束细铜导线，作为测量时通电流加电压的输入/输出端子。