[发明专利]一种纳米器件的内应力消除方法无效
| 申请号： | 201210328643.X | 申请日： | 2012-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN102807190A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 邹强;秦月辰;刘文涛;朱哲;傅星;马建国;薛涛;王慧;帕提曼·托乎提 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 器件 内应力 消除 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米器件的内应力消除方法，其特征在于，将纳米器件在热处理设备中以2-8℃/min的速度升温到100～500℃之间的某个温度，保温一段时间后，再随热处理设备环境缓慢降温至室温，取出。
2.根据权利要求1所述的纳米器件的内应力消除方法，其特征在于，以5℃/min的速度缓慢升温到400℃，保温1-2h，之后随炉体降温环境缓慢降温至室温。
3.根据权利要求1所述的纳米器件的内应力消除方法，其特征在于，所述的热处理设备为马弗炉、管式炉或电阻炉。
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