[发明专利]一种模拟航天航空环境电子器件失效的装置及方法

权利要求书

1.一种模拟航天航空环境电子器件失效的装置，其特征在于，真空腔室（1）具有样品台法兰接口（6）、气氛法兰接口（9）以及紫外法兰接口（10）三个法兰接口，并设有真空预抽通道（16）；

样品台（5）位于真空腔室（1）内，通过样品台法兰接口（6）与外部的加热变压器（7）和温度控制仪（8）连接；样品台（5）的上方设置紫外灯（2），紫外灯（2）通过紫外法兰接口（10）与外部的紫外控制仪（11）连接；样品台（5）上设置陶瓷样品固定柱（3）和金属样品固定柱（4），其中，金属样品固定柱（4）通过连接器（15）和陶瓷外壳导线（14）与外部的直流电场控制仪（12）的正极连接，直流电场控制仪（12）的负极通过定值电阻（13）与真空腔室（1）的壳体连接。

2.根据权利要求1所述的一种模拟航天航空环境电子器件失效的装置，其特征在于，所述样品台（5）由不锈钢板（25）以及不锈钢板（25）下表面的温控线路固定板（27）组合构成；在温控线路固定板（27）上设置加热电压输出线路（17）、加热电压控制线路（19）以及温度检测线路（18）；其中，加热电压输出线路（17）与加热变压器（7）连接，加热电压控制线路（19）以及温度检测线路（18）均与温度控制仪（8）连接。

3.根据权利要求2所述的一种模拟航天航空环境电子器件失效的装置，其特征在于，所述不锈钢板（25）上铺设用于放置待测样品的玻璃薄片（28）。

4.根据权利要求1所述的一种模拟航天航空环境电子器件失效的装置，其特征在于，所述陶瓷样品固定柱（3）由螺栓及螺母组成，并固定安装叉形铜压片（23）和叉形裸端子（22），其中叉形裸端子（22）与连接器（15）连接。

5.根据权利要求1所述的一种模拟航天航空环境电子器件失效的装置，其特征在于，所述金属样品固定柱（4）由螺栓及螺母组成，并固定安装圆形铜压片（23）。

6.一种基于权利要求1所述装置的模拟航天航空环境电子器件失效的方法，其特征在于，采用如下步骤：

将电子器件样品通过样品台（5）上的陶瓷样品固定柱（3）与金属样品固定柱（4）的固定；

对电子器件样品进行单种或多种耦合因素环境的处理；

通过俄歇电子能谱、X射线光电子能谱、扫描电子显微镜方法对处理后的样品进行失效检测，研究电子器件样品失效后的表面结构、表面层产物分布、扩散过程以及表面化学反应，最终进行失效评估。

7.根据权利要求6所述的模拟航天航空环境电子器件失效的方法，其特征在于，

所述单种环境因素为：在室内大气或低真空环境下的，单因素紫外辐照环境、单因素气氛环境、单因素温度场环境以及单因素直流电场环境；

所述多种耦合环境因素为：在室内大气或低真空环境下的，由紫外辐照环境、气氛环境、温度场环境以及直流电场环境中的两种或两种以上环境组成的耦合环境。