[发明专利]主动元件、驱动电路结构以及显示面板有效
| 申请号: | 201210324557.1 | 申请日: | 2012-09-04 |
| 公开(公告)号: | CN102856391A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
| 发明(设计)人: | 杨朝宇;邱皓麟;曹书玮;黄士哲;叶柏良;林俊男;曾贤楷 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/417;H01L29/423;H01L27/06 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;田景宜 |
| 地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 主动 元件 驱动 电路 结构 以及 显示 面板 | ||
1.一种主动元件,配置于一基板的一元件配置区中,其特征在于,该主动元件包括:
一栅极,包括多个第一方向部以及多个第二方向部,该些第一方向部与该些第二方向部交替连接而在该基板上构成一蜿蜒图案,其中该些第一方向部彼此平行,该些第二方向部彼此平行,且该些第一方向部的延伸方向相交于该些第二方向部的延伸方向;
一栅绝缘层,覆盖该栅极;
一半导体层,配置于该栅绝缘层上,且该半导体层位于该栅极上方,且该半导体层的面积实质上定义出该元件配置区;
一蚀刻终止层,配置于该栅绝缘层以及该半导体层上,该蚀刻终止层具有暴露出该半导体层且彼此互不连通的一第一接触开口以及一第二接触开口,该第一接触开口具有平行于该些第一方向部的多个第一指状部以及连接于该些第一指状部且平行于该些第二方向部的至少一第一连接部,该第二接触开口具有平行于该些第一方向部的多个第二指状部以及连接于该些第二指状部且平行于该些第二方向部的至少一第二连接部,其中各个第一指状部与其中一个第二指状部分别位于其中一个第一方向部的两侧;
一源极,配置于该蚀刻终止层上并通过该第一接触开口接触于该半导体层;以及
一漏极,配置于该蚀刻终止层上并通过该第二接触开口接触于该半导体层,且该源极与该漏极彼此分离。
2.如权利要求1所述的主动元件,其特征在于,该栅绝缘层与该蚀刻终止层更延伸至该元件配置区外,且该蚀刻终止层在该元件配置区外接触于该栅绝缘层。
3.如权利要求1所述的主动元件,其特征在于,部分该些第二方向部连接于该些第一方向部的一端而其余该些第二方向部连接于该些第一方向部的另一端,且各该第二方向部连接于两个第一方向部以构成该蜿蜒图案。
4.如权利要求1所述的主动元件,其特征在于,该第一接触开口的该至少一第一连接部与该第二接触开口的该至少一第二连接部分别位于该栅极的该些第一方向部的相对两侧。
5.如权利要求1所述的主动元件,其特征在于,该至少一第一连接部的数量为多个,而该第一接触开口还包括多个第一辅助连接部,各该第一辅助连接部连接于其中两个第一指状部,且该些第一辅助连接部以及该些第一连接部分别位于该些第一指状部的两端。
6.如权利要求5所述的主动元件,其特征在于,该源极具有多个源极指状图案,且各该源极指状图案通过其中一个第一辅助连接部及该第一辅助连接部所连接的该两第一指状部接触于该半导体层。
7.如权利要求5所述的主动元件,其特征在于,该至少一第二连接部的数量为多个,而该第二接触开口还包括多个第二辅助连接部,各该第二辅助连接部连接于其中两个第二指状部,且该些第二辅助连接部与该些第二连接部分别位于该些第二指状部的两端。
8.如权利要求7所述的主动元件,其特征在于,该漏极具有多个漏极指状图案,且各该漏极指状图案通过其中一个第二辅助连接部及该第二辅助连接部所连接的该两第二指状部接触于该半导体层。
9.如权利要求1所述的主动元件,其特征在于,还包括多个电容电极图案,连接于该栅极,其中各该电容电极图案配置于两相邻第一方向部之间,且该些电容电极图案与该源极彼此重叠而定义出一第一电容结构。
10.如权利要求9所述的主动元件,其特征在于,该半导体层具有多个指状开口,各该指状开口对应于该第一接触开口的其中一个第一指状部并小于该第一指状部,且该源极部分地位于该些指状开口中并部分地接触于该半导体层。
11.如权利要求9所述的主动元件,其特征在于,该蚀刻终止层具有至少一电容开口,暴露出该第一电容结构的面积。
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