[发明专利]表面缺陷检测设备及其控制方法

权利要求书

1.一种表面缺陷检测设备，该表面缺陷检测设备包括：

具有上表面的台架单元，在该上表面上布置有主体；

至少一个光源单元，该至少一个光源单元根据检查条件移动并将检查光照射至所述主体的表面上；

成像单元，该成像单元接收从所述主体的表面发射的光并捕捉所述主体的表面的图像；

控制器，该控制器连接至所述至少一个光源单元和所述成像单元，该控制器设置所述检查条件、控制整个操作、并通过使用由所述成像单元捕捉的图像检测所述主体的表面缺陷；以及

显示单元，该显示单元用于显示由所述控制器检测到的关于所述表面缺陷的图像信息。

2.根据权利要求1所述的表面缺陷检测设备，其中所述至少一个光源单元包括灯具光源以及用于将从所述灯具光源发射的光转换成线性光的准直透镜。

3.根据权利要求1所述的表面缺陷检测设备，该表面缺陷检测设备进一步包括至少一个光屏蔽滤波器，该至少一个光屏蔽滤波器布置在所述至少一个光源单元与所述主体之间的光路上并且屏蔽具有产生光学噪声的波长范围的光。

4.根据权利要求1所述的表面缺陷检测设备，该表面缺陷检测设备进一步包括布置在所述成像单元与所述主体之间的光路上的光学噪声屏蔽滤光器。

5.根据权利要求4所述表面缺陷检测设备，其中所述光学噪声屏蔽滤光器包括带通滤波器、阶式滤波器和双色向滤光镜中的至少一者。

6.根据权利要求1所述的表面缺陷检测设备，其中所述至少一个光源单元包括单色光源，并且其中所述光源发射具有单色波长的光，该单色波长与由所述主体的表面产生的光学噪声的波长的设置不同。

7.根据权利要求6所述的表面缺陷检测设备，其中所述光源包括：激光器，该激光器用于发射具有单色波长的光，该单色波长与由所述主体的表面产生的光学噪声的波长的设置不同；以及光束扩展器，该光束扩展器用于扩大从所述激光器发射的光并将所述光照射至所述主体的表面上。

8.根据权利要求1所述的表面缺陷检测设备，其中所述检查条件包括：作为用于将由所述主体的表面产生的光学噪声转换成同一频率的光学噪声的条件、关于检查光的入射角θ的条件，其中根据所述主体的统一光栅图案的光栅间隔“d”和衍射级“m”设置所述入射角θ以便将所述光学噪声转换成同一频率的光学噪声。

9.根据权利要求8所述的表面缺陷检测设备，其中所述检查条件包括所述至少一个光源单元关于所述成像单元的旋转角度。

10.一种控制表面缺陷检测设备的方法，该表面缺陷检测设备包括：至少一个光源单元，该至少一个光源单元用于将检查光照射至布置在台架单元的上表面上的主体的表面上；以及成像单元，该成像单元用于接收从所述主体的表面发射的光并捕捉所述主体的表面的图像，所述方法包括：

设置用于检查表面缺陷的检查条件；

根据所述检查条件通过在所述主体上执行表面缺陷检查获得关于所述主体的表面的图像信息；

确定所获得的图像信息是否与通过其能够检测到所述主体的表面缺陷的图像信息相一致；

当确定所获得的图像信息是与通过其不能够检测到表面缺陷的缺陷图像信息一致时，重新设置所述检查条件；

根据重新设置的检查条件通过再次执行表面缺陷检查再次获得关于所述主体的表面的图像信息；

再次确定再次获得的所述图像信息是否与通过其能够检测到所述主体的表面缺陷的图像信息相一致；以及

当确定再次获得的所述图像信息与通过其能够检测到所述主体的表面缺陷的图像信息相一致时，根据再次获得的所述图像信息检测关于所述表面缺陷的信息。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，在所述检查条件的设置中，所述检查条件包括用于将由所述主体的表面产生的光学噪声转换成同一频率的光学噪声的条件，以及包括关于所述检查光的入射角θ的条件，该入射角θ根据所述主体的统一光栅图案的光栅间隔“d”和衍射级“m”设置以便将所述光学噪声转换成同一频率的光学噪声。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述检查条件包括所述至少一个光源单元关于所述成像单元的旋转角度。