[发明专利]晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估方法

权利要求书

1.一种晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估方法，用于对晶圆级的单支点电容式加速度计的性能参数进行在线评估和调试，其特征在于：其包括

电荷放大单元，所述的电荷放大单元通过探针卡与所述的单支点电容式加速度计相连接，所述的电荷放大单元将所述的单支点电容式加速度计输出的电容信号转换为电荷信号；

检波电路单元，所述的检波电路单元与所述的电荷放大单元的输出端相连接，所述的检波电路单元对所述的电荷放大单元所输出的电荷信号进行调制解调；

低通滤波单元，所述的低通滤波单元与所述的电荷放大单元的输出端相连接，所述的低通滤波单元将经过调制解调的电荷信号进一步放大并滤除载波信号，输出直流信号，所述的低通滤波单元的输出即为开环输出；

PID控制单元，所述的PID控制单元与所述的低通滤波单元的输出端相连接，所述的PID控制单元将开环输出的信号进行PID控制；

求和放大单元，所述的求和放大单元与所述的PID控制单元的输出端相连接，所述的求和放大单元对所述的PID控制单元的输出信号进行求和放大，所述的求和放大单元的输出即为闭环输出并与低频频谱分析仪相连接；

正反向两路放大器，所述的正反向两路放大器的输入端与所述的求和放大单元的输出端相连接，所述的正反向两路放大器的两个输出端分别与所述的单支点电容式加速度计的支点两侧的极板相连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估方法，其特征在于：所述的单支点电容式加速度计的灵敏度=所述的闭环输出信号/输入的加速度量，其中，所述的输入的加速度量指由所述的单支点电容式加速度计所得到的加速度的量值。

3.根据权利要求1所述的晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估方法，其特征在于：在所述的晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估方法的闭环输出端加入正弦波信号，所述的正弦波信号经所述的正反向两路放大器后输出两路幅度相同、相位相反的正弦波信号并加载到所述的单支点电容式加速度计的支点两侧的两个极板上；将所述的正弦波信号的频率由低到高进行扫描并观测所述的闭环输出信号，直至所述的闭环输出信号的幅度衰减至-3db时所述的正弦波信号所对应的频率即为所述的单支点电容式加速度计的机械带宽。

4.根据权利要求1所述的晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估方法，其特征在于：加入所述的晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估方法的闭环输出端的正弦波信号的峰值为1V，初始频率为10Hz，偏置为2.5V，且所述的正弦波信号的频率由10Hz至3000Hz进行扫描。