[发明专利]搬运机器人和基板处理设备

说明书

技术领域

本文公开的实施方式涉及一种搬运机器人和基板处理设备。

背景技术

在过去，布置在称为EFEM（设备前端模块）的壳体中的搬运机器人已知为用于搬运诸如半导体晶片或液晶面板之类的基板的水平多关节型机器人的一个示例（例如参见日本专利申请公报No.2008－103755）。

EFEM是设置在半导体处理设备的前面侧的模块。在局部清洁的环境中，EFEM能够通过使用搬运机器人而在基板供给单元和基板处理单元之间传送基板。

通常，搬运机器人包括：臂单元，该臂单元具有能够保持被搬运物体的手部；基座单元，该基座单元用于以可水平旋转的方式支撑所述臂单元；以及升降机构，该升降机构用于通过使连接至所述臂单元的升降构件沿着布置在所述基座单元中的竖直轴上升或下降来向上和向下移动所述臂单元。

有时会出现这种情况，即：EFEM不仅包括作为基板供给单元的基板存储容器，而且还包括其他装置，例如用于检测基板的取向和对准基板的对准装置。为了减少EFEM的安装面积，这些装置经常在壳体内布置于基板存储容器的上方。

在包括诸如对准装置等的其他装置的EFEM中使用的搬运机器人中，有时需要臂的上下运动范围进一步向上延伸超过基板存储容器的下端和上端之间的、取出基板所需的距离。

为此，可以想到仅仅加长搬运机器人的身长。然而，从壳体的底面到基板存储容器的下端的高度是由标准规定的。因此，在设置有升降机构的搬运机器人中，为了获得所需的上下运动范围，如果向上加长支撑所述臂的基座单元，则有时会出现这种情况：向下移动到最下限的臂定位得比基板存储容器的下端高。

换言之，如果尝试将所述臂向下移动到与基板存储容器的下端对应的位置，则所述臂会与基座单元的上表面发生干涉。

发明内容

鉴于上述问题，本文公开的实施方式提供了一种搬运机器人和基板处理设备，所述搬运机器人和基板处理设备能够在增大所述臂单元的上下运动范围的情况下将臂单元向下移动到必要的最低位置。

根据本发明的一个方面，提供了一种搬运机器人，该搬运机器人包括：臂单元，该臂单元具有能够保持其中一个被搬运物体的手部；安装至安装框架的基座单元，该基座单元以可水平旋转的方式支撑所述臂单元；附装构件，该附装构件被构造成将所述基座单元附装至所述安装框架；以及升降机构，该升降机构布置在所述基座单元内并设置有联接至所述臂单元的升降构件，该升降机构被构造成通过使所述升降构件沿着竖立地安装在所述基座单元内的竖直轴上下运动而使所述臂单元在限定于所述基座单元上方的臂单元上下运动范围内上下运动，其中，在所述基座单元的延伸从该基座单元的底壁到所述附装构件的规定高度的部分嵌入在所述安装框架的基座收容凹部中的状态下，所述基座单元固定至所述安装框架。

通过这种构造，可以扩大包括手部的臂单元的高度方向的接近范围，同时防止搬运机器人的尺寸变得较大。

附图说明

从如下结合附图给出的实施方式的描述将清楚当前公开内容的目的和特征，其中：

图1是示出了设置有根据一个实施方式的搬运机器人的基板处理设备的示意性说明图；

图2是根据一个实施方式的搬运机器人的示意性说明图；以及

图3是根据比较例的搬运机器人的示意图。

具体实施方式

现在将参照形成实施方式的一部分的附图详细地描述本文公开的搬运机器人和基板处理设备的一个实施方式。然而，本发明不限于下面将要描述的实施方式。

（基板处理设备）

首先，将对根据一个实施方式的基板处理设备1进行描述。图1是示出了设置有根据一个实施方式的搬运机器人10的基板处理设备1的示意性说明图。

如图1所示，该基板处理设备1包括：搬运机器人10；壳体20，该壳体20用于在其基本中央区域中容纳搬运机器人10；基板供给单元3，该基板供给单元3设置在壳体20的一个侧表面21附近；以及基板处理单元4，该基板处理单元4设置在壳体20的另一个侧表面22附近。在图1中，附图标记“100”表示底面，基板处理设备1安装在该底面上。

在壳体20上设置有用于净化气体的过滤器2。壳体20是能够通过使由过滤器2净化的向下流动的清洁气体与外部隔离而保持其内部空间清洁的所谓的EFEM（设备前端模块）。在用作壳体20的底壁部的安装框架23的下表面上设置有支腿24，所述支腿24用于将壳体20支撑在该壳体20与底面100间隔开规定距离D（例如100mm）的状态下。