[发明专利]减压烘干装置

权利要求书

1.一种减压烘干装置，其特征在于，包含

容纳被烘干物体的烘干容器、

借助于从所述烘干容器内排出的气体，使所述烘干容器内减压的减压手段、

向所述烘干容器内导入气体的气体导入手段、

检测所述烘干容器内减压值的压力检测手段、以及

可使所述压力检测手段检测出的减压值保持在规定的减压值范围内的，使所述气体导入手段作间歇性工作的间歇性工作手段。

2.根据权利要求1所述的减压烘干装置，其特征在于，

更包含将所述减压值范围分割为多个小范围，并针对每一个小范围设定的，越是包含相对较大减压值的所述小范围，其所述气体导入手段的工作时间就越长的用于存储工作时间负荷比(Duty ratio)的负荷比存储手段，

所述间歇性工作手段，可从所述负荷比存储手段读出与所述压力检测手段检测出的减压值相应的负荷比，利用该负荷比使所述气体导入手段间歇性工作。

3.根据权利要求2所述的减压烘干装置，其特征在于，

对包含所述减压值范围的下限值的所述小范围，用该负荷比使所述气体导入手段间歇性地工作时，设定使所述气体导入手段向所述烘干容器内导入气体的导入量低于所述减压手段从所述烘干容器内排出气体的排气量的负荷比。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的减压烘干装置，其特征在于，

还包含对所述烘干容器内收容的被烘干物体进行加热用的加热手段。