[发明专利]扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪

权利要求书

1.一种扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪，其特征在于，包括：机架底座、音圈电机、加载轴、光栅尺、动夹具、定夹具、滑块和力传感器；

所述音圈电机安装在所述机架底座的一端，其内部安装有用来测量所述加载轴位移的光栅尺；所述加载轴由音圈电机内部的电磁线圈驱动运动，其一端位于所述音圈电机内部，另一端安装有所述动夹具；所述机架底座的另一端加工有滑槽，所述滑槽上固定有所述滑块；所述滑块离音圈电机的近端安装有力传感器，所述定夹具安装在所述力传感器上，所述定夹具和动夹具之间用于安装试样。

2.如权利要求1所述的力学性能测试仪，其特征在于，

所述滑槽内设置有螺母，用于调节所述滑块的位置。

3.如权利要求1所述的力学性能测试仪，其特征在于，

所述机架底座的边缘安装有端盖。

4.如权利要求1所述的力学性能测试仪，其特征在于，

所述力传感器的量程为4牛顿，所述光栅尺的位移分辨率为1μm。

5.如权利要求1所述的力学性能测试仪，其特征在于，

所述力学性能测试仪的尺寸约为150mm*50mm*40mm。

6.一种扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试系统，其特征在于，包括依次连接的力学性能测试仪、控制器和终端设备；

所述力学性能测试仪包括：机架底座、音圈电机、加载轴、光栅尺、动夹具、定夹具、滑块和力传感器；所述音圈电机安装在所述机架底座的一端，其内部安装有用来测量所述加载轴位移的光栅尺；所述加载轴由音圈电机内部的电磁线圈驱动运动，其一端位于所述音圈电机内部，另一端安装有所述动夹具；所述机架底座的另一端加工有滑槽，所述滑槽上固定有所述滑块；所述滑块离音圈电机的近端安装有力传感器，所述定夹具安装在所述力传感器上，所述定夹具和动夹具之间用于安装试样；

所述控制器用于将终端设备输入的指令信号转化为所述音圈电机可接收的驱动信号，以及，采集所述光栅尺的信号和力传感器的信号，进行调理后传输给所述终端设备；

所述终端设备用于按照测试需求设定测试步骤，将相应的指令信号发送给所述控制器，以及，对从所述控制器接收到的数据进行实时显示和后期处理，以获得试样变形和力的关系，进而求解出所需的力学参量。

7.如权利要求6所述的力学性能测试系统，其特征在于，所述力学性能测试仪的滑槽内设置有螺母，用于调节所述滑块的位置。

8.如权利要求6所述的力学性能测试系统，其特征在于，

所述控制器包括驱动模块、信号采集模块与信号调理通信模块，其中，

所述驱动模块用于将终端设备输入的指令信号转化为所述音圈电机可接收的驱动信号；

所述信号采集模块用于采集所述光栅尺的信号和力传感器的信号；

所述信号调理通信模块用于将所述信号采集模块采集到的光栅尺的信号和力传感器的信号进行调理，传输给所述终端设备。