[发明专利]一种大面积玻璃镀膜调试片载体

说明书

技术领域

本发明涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，尤其涉及一种大面积玻璃镀膜调试片载体。

背景技术

磁控溅射镀膜设备的传动辊是水平的，相邻两根传动辊中心之间的距离是30cm，靶材溅射的有效宽度是3300mm，这样传动辊中心之间的距离和溅射的宽度决定了最小均匀性调试片的宽度和长度。现在的均匀性调试片，一般长宽规格尺寸是750*3300mm。

为什么要用到这种均匀性调试片呢？这主要是用来调试不同膜系产品的颜色均匀性。磁控溅射能镀在玻璃上面的有效宽度是3300mm，为了要使每个膜系产品都能达到这种均匀性宽度，就需要用均匀性调试片来调试，把镀在3300mm宽的玻璃上的每一层膜层厚度调成基本一致，这样镀膜玻璃的颜色才能均匀，而不会出现颜色差别，才能达到生产要求。

由于设备的特点而使均匀性调试片的规格尺寸定在750mm*3300mm，而实际上，通过在线光度计测量均匀性的颜色值，只需要150mm*3300mm尺寸的玻璃就可以测试出来，但是传动辊中心之间的距离有300mm，那如果玻璃尺寸是150mm*3300mm是不能放在传动辊上，是会直接掉下来的，那玻璃长为800mm只是为了在传动台上传动，而不至于因玻璃长宽太小而在传动台上掉下或者传动时颠簸。所以，750mm*3300mm只是为了满足传动要求，而不是满足测量要求，玻璃只要150mm*3300mm就能满足测量要求。

因为均匀性调试片镀膜只能用一次，镀完膜后，调试片就报废掉了，每次调试所用的调试片面积为S=0.8*3.3=2.64平米，这样对于材料是相当大的浪费，增加了生产成本。

为了实现减少均匀性调试片的用量，把调试片尺寸改小且能够满足测量要求就可以，而改小后的均匀性调试片是没法在传动辊上传动，这就需要发明一种镀膜可以循环利用的载体，把改小后的均匀性调试片放在上面即可。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供了一种大面积玻璃镀膜调试片载体；该载体在满足设备要求的情况下，不仅方便搬运、传动、镀膜时不容易破碎，而且能大大节约企业成本。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种大面积玻璃镀膜调试片载体，包括底座和靠背，所述载体的侧面为L形；所述底座和靠背长度尺寸相同，所述底座宽度尺寸较靠背宽度尺寸大175～200mm；

所述载体的材质具有如下性能：

a、可以循环利用，b、能耐150℃以下的真空室温度，c、不会变形，d、制作成本低，e、不能释放出气体，影响到真空度，f、便于操作，g、在线光度计可以自动测量。

其中所述底座和靠背一体成型。

所述底座和靠背也可以分别由两部分组成，较佳地，所述底座长宽的尺寸为3300mm*750mm，所述靠背长宽的尺寸为3300mm*550mm。

较佳地，所述底座高的尺寸为5mm，所述靠背高的尺寸为5mm。

较佳地，所述底座和靠背的材质为玻璃。

较佳地，所述玻璃是应力为35～48MPa的半钢化玻璃。

较佳地，所述底座和靠背之间还有一夹层。

较佳地，所述夹层为聚乙烯醇缩丁醛层（PVB）。

较佳地，所述聚乙烯醇缩丁醛层的长宽高尺寸为3300mm*550mm*1.14mm。

本发明载体的这种结构，主要是为了可以将均匀性调试片尺寸改小为350mm*3300mm，调试片能放在载体上即可，只要露出来夹层的部份有150*3300，光度计就可以自动测量。

载体的使用，节约了工业生产中大面积玻璃镀膜用的调试片面积，从而节约了调试片的使用成本；实现节约企业成本的最终目标。均匀性调试片由原来面积为S=0.8*3.3=2.64平米，改小到面积为S=0.35*3.3=1.155平米，经估算，镀膜因此每个月减少的玻璃调试片面积约为2500平米，一年节约面积约为3万平米，按6MM厚度的玻璃价格计算（因镀膜调试片常规是用6MM厚度作调试），一年节约成本约为=30*3=90万。

本发明选用了可以循环利用、能耐150℃以下的真空室温度、不会变形、制作成本低、不能释放出气体，影响到真空度、便于操作、在线光度计可以自动测量的载体材料，其中优选半钢化玻璃，是为了增强玻璃的机械强度，使之在搬运、传动、镀膜时不容易破碎，然后做成夹层，是防止玻璃在真空室内破碎，即使破碎夹层玻璃也会粘在一起，不会卡死在真空室内，不会造成(真空室还要处理破碎的玻璃麻烦。