[发明专利]用于高纯安全特气的钢瓶更换方法

权利要求书

1.用于高纯安全特气的钢瓶更换方法，其特征在于：包括以下步骤：

A、首先关闭钢瓶（5）阀门，对与钢瓶（5）相连的供气管路（61）进行抽真空；

B、然后向供气管路（61）中充入氮气稀释供气管路（61）中残余的特殊气体；

C、再对供气管路（61）进行抽真空，然后再向供气管路（61）中充入氮气，重复直至抽真空和充入氮气直至供气管路（61）中特殊气体的含量低于设定值；

D、松开供气管路（61）端部的钢瓶管接头（2）与钢瓶（5）的连接，同时利用氮气形成气帘包覆钢瓶管接头（2）的密封接口部（22）从而对密封接口部（22）进行持续吹扫；

E、待原有钢瓶（5）拆下后，将钢瓶管接头（2）与新的钢瓶（5）连接，待连接可靠后，停止氮气对钢瓶管接头（2）的吹扫。

2.如权利要求1所述的用于高纯安全特气的钢瓶更换方法，其特征在于：在A步骤中，在对供气管路（61）进行抽真空后进行一段时间的保压，若供气管路（61）中压力发生变化，则说明钢瓶（5）阀门未关闭可靠，此时将钢瓶（5）阀门关闭可靠；若未发生变化，则进入到后续步骤。

3.如权利要求1所述的用于高纯安全特气的钢瓶更换方法，其特征在于：在E步骤之后，还包括F步骤：在将钢瓶管接头（2）与新的钢瓶（5）连接可靠后，保持钢瓶（5）关闭，对供气管路（61）进行抽真空，然后再向供气管路（61）中充入氮气，以此重复直至供气管路（61）中杂质的含量低于设定值。

4.如权利要求1、2或3所述的用于高纯安全特气的钢瓶更换方法，其特征在于：所述钢瓶管接头（2）包括气体通道（21）、依次设置的密封接口部（22）、紧固部（23）和进气部（25），还包括吹扫部（24），所述吹扫部（24）上设置有吹扫通孔（26），所述吹扫通孔（26）的出口朝向所述密封接口部（22）的外壁，所述吹扫管路（64）与所述吹扫通孔（26）相连通，所述氮气通过吹扫通孔（26）形成气帘包覆所述密封接口部（22）。

5.如权利要求4所述的用于高纯安全特气的钢瓶更换方法，其特征在于：所述吹扫部（24）上还设置有进气腔（27），所述进气腔（27）与所述吹扫管路（64）连通，所述进气腔（27）与所述吹扫通孔（26）的进口相连通，氮气首先进入到进气腔（27）缓冲后再通过吹扫通孔（26）形成气帘包覆所述密封接口部（22）。