[发明专利]蚀刻握持夹具

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃边缘强化湿式蚀刻制程所使用的握持夹具，但不限于此种用途。此种握持夹具可增进液体流场均匀度及效率，又不会碰触被蚀刻物边缘，使边缘蚀刻均匀度及良率大大提升，而且又能减少蚀刻后浸泡清洗时间，提升清洗效益又能避免酸液残留。

背景技术

集成电路或面板制程中，以湿式蚀刻除去剩余光阻的传统夹具如图1所示，玻璃片或晶圆等工件104被夹持于夹具102时，至少有四个接触点，使蚀刻不完全，而有残留物留在边缘上，此缺点对面板最为不利。另外，因底部未完全开放，使蚀刻液的流场106不顺畅而有回流108，致使均匀度及酸液流场效率不佳而增加蚀刻时间。

授予Kim等人的美国专利第20040065413号提出一种防止玻璃底板破裂的夹具。具有上框、下框及侧框，停止器（stopper）防止玻璃底板自后部出来。固然可以防止玻璃底板破裂，但玻璃底板边缘仍与夹具接触，且下框使蚀刻液的流场不顺畅，是其缺点。授予Cho等人的美国专利第20060226093及20060226094号提出一种装载显示面板玻璃底板的玻璃夹具，亦有上、下板及侧板，其缺点亦同。

发明内容

本发明所要解决的技术问题就是提供一种蚀刻握持夹具，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率，减少蚀刻时间。

本发明另提供一种蚀刻握持夹具，使玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。

本发明再提供一种蚀刻握持夹具，以方便并容易上、下玻璃片或晶圆等工件。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：包括：两个侧板，所述两个侧板分置左、右两侧；多个支持棒，所述多个支持棒连接于所述两侧板；多个夹板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间；至少两个夹板滑棒，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板；以及至少一个夹板压棒，设置于所述一个侧板上。

作为优选，所述夹板两侧各设有接触头。

作为优选，所述夹板两侧的接触头各设有至少两个。

作为优选，所述夹板压棒具有螺帽及螺丝，所述螺帽螺接于所述螺丝上。

作为优选，所述两个侧板各具有握持孔。

作为优选，所述两个侧板各具有侧孔。

作为优选，所述两个侧板各具有脚架。

作为优选，进一步包括有一保护外壳，所述蚀刻握持夹具置于所述保护外壳内。

作为优选，所述保护外壳具有两个外壳侧板，所述两个外壳侧板上设有握持孔，所述底板上有泄液孔。

作为优选，所述多个支持棒连接于所述两侧板的四角处。

本发明具有以下有益的效果：

本发明以侧板、支持棒、夹板、夹板滑棒及夹板压棒组成一蚀刻握持夹具，蚀刻液的流场可自下方向上平行通过玻璃片或晶圆等工件，不受阻碍，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率，减少蚀刻时间，且使玻璃片或晶圆等工件的的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。另可以方便并容易上下玻璃片或晶圆等工件，可置放小于100μm的超薄玻璃片，利于大量生产不会造成破片。

为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图说明

图1为显示以湿蚀刻除去剩余光阻的传统夹具的示意图。

图2为本发明蚀刻握持夹具的立体图。

图3为本发明侧板的右侧视图。

图4为本发明蚀刻握持夹具的前视图。

图5为本发明蚀刻握持夹具的俯视图。

图6为本发明夹板松开玻璃片或晶圆的示意图。

图7为本发明夹板夹紧玻璃片或晶圆的示意图。

图8为本发明夹具浸入蚀刻液时的流场示意图。

图9为本发明夹具的保护外壳的立体图。

其中，附图标记说明如下：

102夹具            104件

106蚀刻液的流场    108回流

200蚀刻握持夹具

202侧板            204侧板

206支持棒          208夹板

210螺帽            212螺丝

214夹板压棒        216夹板滑棒

302握持孔          304侧孔

306侧孔            308脚架

602工件            604接触头