[发明专利]一种质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法

权利要求书

1.一种质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法，其特征在于，包括真空腔、离子捕获模块、脉冲阀、脉冲阀驱动模块、FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块，具体包括以下控制步骤：

(1)在工作电源供电下，通过计算机设定所述离子捕获模块所需真空度M，并通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块将信号传送至所述离子捕获模块；

(2)通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块中的AD采样模块读取所述真空腔内真空度，对比判断与所述离子捕获模块所需真空度M大小；

(3)若所述真空腔内真空度大于所述离子捕获模块设定的真空度M，则不启动所述脉冲阀；

(4)若所述真空腔内真空度小于所述离子捕获模块所需真空度M，则通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块中的真空控制梯度算法编译输出的pulse-in信号控制所述脉冲阀，并改变pulse-in信号占空比来改变所述脉冲阀驱动模块输出pulse-out信号，进而改变所述脉冲阀开关时间，最终所述脉冲阀连续控制缓冲气体进气量使所述真空腔内真空度达到所述离子捕获模块设定真空度M，时间＜3s。

2.根据权利要求1所述的质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法，其特征在于，所述脉冲阀开关时间由所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块中的真空控制梯度算法控制，包括如下步骤：

①所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块判断所测真空度是否小于M*A％，其中A％＜1，并且在控制器模块中设定计数器C1，是，则进入计数器计数，若计数器C1计数次数小于等于3次，则输出pulse-A驱动所述脉冲阀控制缓冲气体加大进气量，若计数器C1计数次数大于3次，则输出pulse-B，其中pulse-A与pulse-B的脉宽关系如下：W_pulse-B＝αW_pulse-A，其中α为小于1的任一系数，这样就实现了精度更高的调整缓冲气体充入量；

②否，则继续通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块判断所测真空度是否小于M*B％，其中A％＜B％＜1，并且在控制器模块中设定计数器C2，是，则进入计数器计数，若计数器C2计数次数小于等于3次，则输出pulse-C驱动脉冲阀控制缓冲气体加大进气量，若计数器C2计数次数大于3次，则输出pulse-D，其中pulse-C与pulse-D的脉宽关系如下：W_pulse-C＝βW_pulse-D，其中β为小于1的任一系数，这样就实现了精度更高的调整缓冲气体充入量；

③否，则继续通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块判断所测真空度是否小于M*C％，其中A％＜B％＜C％＜1，并且在控制器模块中设定计数器C3，是，则进入计数器计数，若计数器C3计数次数小于等于3次，则输出pulse-E驱动脉冲阀控制缓冲气体加大进气量，若计数器C2计数次数大于3次，则输出pulse-F，其中pulse-E与pulse-F的脉宽关系如下：W_pulse-E＝γW_pulse-F，其中γ为小于1的任一系数，这样就实现了精度更高的调整缓冲气体充入量；

④否，则继续通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块判断所测真空度是否小于M*D％，其中A％＜B％＜C％＜D％＜1，并且在控制器模块中设定计数器C4，是，则进入计数器计数，若计数器C4计数次数小于等于3次，则输出pulse-G驱动脉冲阀控制缓冲气体加大进气量，若计数器C2计数次数大于3次，则输出pulse-H，其中pulse-G与pulse-H的脉宽关系如下：W_pulse-G＝δW_pulse-H，其中δ为小于1的任一系数，这样就实现了精度更高的调整缓冲气体充入量；

⑤否，则继续通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块判断所测真空度是否大于等于M*D％，是，则从开始进行判断，即维持脉冲阀状态不变。否，则进入计数器C4，重新进行拍段，方法与步骤④相同。

3.根据权利要求1所述的质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法，其特征在于：所述离子捕获模块是质量分析器或中间级离子存储传输、碰撞解离设备。

4.根据权利要求3所述的质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法，其特征在于：所述质量分析器为四极场质量分析器。