[发明专利]光刻物镜中光学元件高精度支撑结构

说明书

技术领域

本发明属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，具体涉及光刻物镜中光学元件高精度支撑结构。

背景技术

投影光刻装备是大规模集成电路制造工艺中的关键设备，近年来随着集成电路线宽精细程度的不断提高，投影光学装备的分辨率亦逐渐提高，目前波长193.368nm的ArF准分子激光器投影光刻装备已成为90nm、65nm和45nm节点集成电路制造的主流装备。

投影光刻物镜装调及使用过程中，为满足良好的光学系统性能，要求其内部光学元件面形RMS值大都在1~2nm范围内，同时要求其工作过程中受高能激光照射时引起的光学元件热面形RMS控制在1~2nm范围内。

发明内容

本发明为解决光刻物镜中光学元件高精度支撑问题，提出一种三点径向挠性主支撑、多点弹片辅助支撑的光刻物镜中光学元件高精度支撑结构。

光刻物镜中光学元件高精度支撑结构，包括镜框和整体弹片，所述整体弹片与镜框之间通过若干螺钉固定。

所述镜框内环周向均匀分布三处径向挠性弹片，所述三处径向挠性弹片和镜框为一体式结构。

所述整体弹片具有若干整体弹片支撑片，所述三处径向挠性弹片与若干整体弹片支撑片沿周向均匀分布。

所述三处径向挠性弹片支撑处的形状与光学元件下表面相适应。

本发明的有益效果是：所述镜框通过其内环上的周向均布的三处径向挠性弹片支撑光学元件，当光学元件由于热载荷等膨胀时，镜框由于径向挠性弹片的存在能够适应性地伸缩，所述三处径向挠性弹片支撑处的形状与光学元件下表面接触处形状相吻合，当光学元件接触面为平面时，弹片接触面也为平面，当光学元件接触面为球面和非球面时，弹片接触面也相应地为球面和非球面，两者之间为面接触，从而实现光刻物镜中光学元件高精度支撑。

附图说明

图1为本发明光刻物镜中光学元件高精度支撑结构俯视图。

图2为本发明光刻物镜中光学元件高精度支撑结构仰视图。

图3为本发明所述的镜框和整体弹片安装示意图。

图4为本发明所述的镜框结构示意图。

图5为本发明所述的整体弹片结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行详细说明。

如图1至图5所示，光刻物镜中光学元件高精度支撑结构，包括镜框2和整体弹片3。光学元件1与镜框2之间通过胶粘的方式连接。整体弹片3与镜框2之间通过多个螺钉4固定。

镜框2通过其内环上的周向均布的三处径向挠性弹片2-1支撑光学元件1。三处径向挠性弹片2-1与若干整体弹片支撑片3-1沿周向均匀分布。三处径向挠性弹片2-1和镜框2为一体式结构，可通过慢走丝线切割的方式进行加工。当光学元件1由于热载荷等膨胀时，由于镜框结构整体上在径向上存在一定的挠性，因此当光学元件2膨胀收缩时能够适应性地伸缩。三处径向挠性弹片2-1支撑处的形状依据光学元件1下表面接触处形状而定。当光学元件接触面为平面时，弹片接触面也为平面；当光学元件接触面为球面时，弹片接触面也相应地为球面；当光学元件接触面为非球面时，弹片接触面也相应地为非球面，两者之间为面接触。

装调时，首先将光学元件1放置在镜框2上之后，然后对光学元件1进行调心，最后将光学元件1和镜框2胶粘固定。