[发明专利]芯片内部电源输出电压测量系统及方法在审
| 申请号: | 201210312733.X | 申请日: | 2012-08-29 |
| 公开(公告)号: | CN102818923A | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
| 发明(设计)人: | 桂伟;任栋梁 | 申请(专利权)人: | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号: | G01R19/00 | 分类号: | G01R19/00 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
| 地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 内部 电源 输出 电压 测量 系统 方法 | ||
1.一种芯片内部电源输出电压测量系统,其特征在于包括:测试机以及探针卡;其中所述测试机通过所述探针卡连接至待测芯片;其中,所述测试机包括驱动电压施加单元以及电源管理单元;而且其中,所述驱动电压施加单元用于向内部电源供电以确保电源供给的准确性;所述电源管理单元用于所述向所述待测芯片施加驱动电流,以量测所述待测芯片的内部电源输出电压;并且其中,所述测试机的第一通道和第二通道在输出端相互短接并连接至所述探针卡的一个输入端口;而且,所述探针卡的所述输入端口对应于所述待测芯片的一个引脚。
2.根据权利要求1所述的芯片内部电源输出电压测量系统,其特征在于,所述待测芯片是嵌入式闪存芯片。
3.根据权利要求1或2所述的芯片内部电源输出电压测量系统,其特征在于,在所述测试机内部,所述第一通道用于与所述驱动电压施加单元连接,所述第二通道用于与所述电源管理单元连接;并且,在任何时刻,仅仅所述第一通道与所述驱动电压施加单元的连接以及所述第二通道与所述电源管理单元的连接之一接通。
4.根据权利要求1或2所述的芯片内部电源输出电压测量系统,其特征在于,所述测试机的所述第一通道和所述第二通道在所述测试机的内部相互短接,并且所述第一通道和所述第二通道在所述测试机内部的内部短接端选择性地连接至所述驱动电压施加单元以及所述电源管理单元之一。
5.根据权利要求4所述的芯片内部电源输出电压测量系统,其特征在于,所述第一通道和所述第二通道在所述测试机内部的内部短接端通过单刀双掷开关K选择性地连接至所述驱动电压施加单元以及所述电源管理单元之一。
6.一种芯片内部电源输出电压测量方法,其特征在于包括:
通过所述探针卡将所述测试机连接至待测芯片,其中,测试机包括驱动电压施加单元以及电源管理单元,驱动电压施加单元用于向内部电源供电以确保电源供给的准确性;电源管理单元用于所述向所述待测芯片施加驱动电流,以量测所述待测芯片的内部电源输出电压;
将所述测试机的第一通道和第二通道在输出端相互短接并连接至所述探针卡的一个输入端口;
以所述探针卡的所述输入端口对应于所述待测芯片的一个引脚的方式连接所述探针卡和所述待测芯片;
使所述第一通道与所述驱动电压施加单元的连接以及所述第二通道与所述电源管理单元的连接之一接通。
7.一种芯片内部电源输出电压测量方法,其特征在于包括:
通过所述探针卡将所述测试机连接至待测芯片,其中,测试机包括驱动电压施加单元以及电源管理单元,驱动电压施加单元用于向内部电源供电以确保电源供给的准确性;电源管理单元用于所述向所述待测芯片施加驱动电流,以量测所述待测芯片的内部电源输出电压;
将所述测试机的第一通道和第二通道在输出端相互短接并连接至所述探针卡的一个输入端口;
以所述探针卡的所述输入端口对应于所述待测芯片的一个引脚的方式连接所述探针卡和所述待测芯片;
将所述测试机的所述第一通道和所述第二通道在所述测试机的内部相互短接;
将所述第一通道和所述第二通道在所述测试机内部的内部短接端选择性地连接至所述驱动电压施加单元以及所述电源管理单元之一。
8.根据权利要求7所述的芯片内部电源输出电压测量方法,其特征在于,将所述第一通道和所述第二通道在所述测试机内部的内部短接端通过单刀双掷开关选择性地连接至所述驱动电压施加单元以及所述电源管理单元之一。
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