[发明专利]一种光栅尺尺壳直线度的非接触式光学自动检测装置无效
| 申请号: | 201210312511.8 | 申请日: | 2012-08-29 |
| 公开(公告)号: | CN102853784A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
| 发明(设计)人: | 谭向全;张吉鹏;孙强;白晶;张翼飞 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
| 代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 田春梅 |
| 地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光栅尺 直线 接触 光学 自动检测 装置 | ||
1.一种光栅尺尺壳直线度的非接触式光学自动检测装置,其特征在于:该检测装置包括电脑(1)、采集卡(2)、CCD摄像头(3)、物镜(4)、光源(5)、聚光镜(6)、镀膜玻璃(7)、直线平动机构(8)、夹具(10)和基座(11);光源(5)、聚光镜(6)、镀膜玻璃(7)、物镜(4)、CCD摄像头(3)与直线平动机构(8)共同构成光学检测系统;夹具(10)与基座(11)固定连接,其将光栅尺尺壳(9)夹紧并放置于镀膜玻璃(7)的下方,直线平动机构(8)的运动方向与光栅尺尺壳(9)平行;
所述的镀膜玻璃(7)为平板玻璃,其下表面设有镀膜的反射膜区(7-1)和未镀膜的非反射膜区(7-2),反射膜区(7-1)与非反射膜区(7-2)之间的分界线为直线;光源(5)发出的检测光经聚光镜(6)汇聚以后,透过镀膜玻璃(7)的上表面并经折射后照射到镀膜玻璃(7)的下表面上;照射在反射膜区(7-1)上的入射光为第一入射光(a),照射在非反射膜区(7-2)的入射光线为第二入射光(b);第一入射光(a)被反射膜区(7-1)反射后,经镀膜玻璃(7)的上表面射出形成第一出射光(a-1);第二入射光(b)从非反射膜区(7-2)射出形成第二出射光(c),第二出射光(c)经光栅尺尺壳(9)的反射后,从非反射膜区(7-2)入射,再从镀膜玻璃(7)的上表面出射形成第三出射光(d);
所述的物镜(4)将镀膜玻璃(7)的第一出射光(a-1)和第三出射光(d)分别汇聚到CCD摄像头(3)上,CCD摄像头(3)将光信号转换为对应的图像信号后,经采集卡(2)储存数据并同时在电脑(1)上显示图像;第一出射光(a-1)在电脑(1)上成像为一条明亮的光带(A);第三出射光(d)在电脑(1)上成像为一条灰暗的光带(D);第一出射光(a-1)与第三出射光(d)之间的阴影区(f)在电脑(1)上成像为黑色带(F)。
2.如权利要求1所述的自动检测装置,其特征在于:所述光栅尺尺壳(9)与镀膜玻璃(7)的下表面平行。
3.如权利要求1所述的自动检测装置,其特征在于:所述经聚光镜(6)汇聚后的出射光线为平行光,其入射到镀膜玻璃(7)上表面时的入射角为锐角。
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