[发明专利]一种微波炉磁控管镧钨阴极及其制备工艺有效
| 申请号: | 201210311935.2 | 申请日: | 2012-08-29 |
| 公开(公告)号: | CN102800543A | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
| 发明(设计)人: | 朱惠冲 | 申请(专利权)人: | 朱惠冲 |
| 主分类号: | H01J23/04 | 分类号: | H01J23/04;C22C27/04 |
| 代理公司: | 佛山东平知识产权事务所(普通合伙) 44307 | 代理人: | 詹仲国 |
| 地址: | 528226 广东省佛*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 微波炉 磁控管镧钨 阴极 及其 制备 工艺 | ||
1.一种微波炉磁控管镧钨阴极,其特征在于,它的成份按重量百分比算包括镧0.4-2%,钨余量。
2.根据权利要求1所述的一种微波炉磁控管镧钨阴极,其特征在于,所述钨的部分含量由铼代替,其成份按重量百分比算为:镧0.4-2%,铼0.05-2%,钨余量。
3.根据权利要求2所述的一种微波炉磁控管镧钨阴极,其特征在于,所述微波炉磁控管镧钨阴极的成份按重量百分比算计优选为:铼0.06-1.2%,镧0.6-1%,钨余量。
4.根据权利要求1或2所述的一种微波炉磁控管镧钨阴极,其特征在于,所述微波炉磁控管镧钨阴极为弹簧状结构,其外径为2-4mm,线径为0.3-0.5mm。
5.一种微波炉磁控管镧钨阴极的制备工艺,其特征在于,它包括如下步骤:
a、混料,按重量百分比算:镧0.4-2%、铼0.05-2%、钨余量的比例加入铼镧液与仲钨酸铵,混合成铼镧钨混合液;
b、第一次氢还原,采用程序升温的方式在400-900℃分阶段保持,每个阶段保持8-15min;
c、第二次氢还原,采用程序升温的方式在600-1100℃分阶段保持,每个阶段保持8-15min,制得铼镧钨合金粉;
d、压坯、二次垂熔,在2000-2700℃分阶段保持10-20 min;
e、锻打后冷却,用氧化铝保温,使合金材料慢慢冷却;
f、拉拔,采用长炉,分3个温期,第一期480-550℃,第二期900-1000℃,第三期700-800℃,加热采用从低温到高温再降温的抛物线过程控制;
g、电解、切断、氢氧化钠清洁定型。
6.根据权利要求4所述的一种微波炉磁控管镧钨阴极的制备工艺,其特征在于,在所述步骤a中,采用湿法及雾化法使铼镧液与仲钨酸铵混合。
7.根据权利要求4所述的一种微波炉磁控管镧钨阴极的制备工艺,其特征在于,在所述步骤b中,优选采用程序升温的方式在400℃、600℃、800℃分别保持10min。
8.根据权利要求4所述的一种微波炉磁控管镧钨阴极的制备工艺,其特征在于,在所述步骤c中,优选采用程序升温的方式在600℃、800℃、1000℃分别保持10min。
9.根据权利要求4所述的一种微波炉磁控管镧钨阴极的制备工艺,其特征在于,在所述二次垂熔过程中,优选在2000℃和2600℃分别保持15min。
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