[发明专利]降温装置及其操作方法

权利要求书

1.一种降温装置，设置于一装卸腔中且用以对放置于该装卸腔中的至少一玻璃基板降温，所述降温装置包括：

至少一气流引导组，设置于所述至少一玻璃基板的一侧，各所述气流引导组包括至少一气流入口及多个气流出口，所述多个气流出口朝向各所述玻璃基板，其中：

所述至少一气流入口至各所述气流出口的气流路径的长度实质上相同。

2.根据权利要求1所述的降温装置，其中各所述气流引导组包括：

一气流导入管，包括所述气流入口，一气流自所述气流入口导入；以及

多个气流导出管，分别连通于所述气流导入管，所述多个气流导出管包括所述多个气流出口。

3.根据权利要求2所述的降温装置，还包括：

一架板，所述气流导入管及所述多个气流导出管固定于所述架板的一侧面。

4.根据权利要求3所述的降温装置，其中所述多个气流出口相对于所述架板的所述侧面的中心点成对设置。

5.根据权利要求3所述的降温装置，其中所述至少一气流引导组为二气流引导组，分别设置在所述架板的所述侧面及相对于所述侧面的另一侧面。

6.根据权利要求5所述的降温装置，其中所述至少一玻璃基板为两玻璃基板，所述架板设置于所述两玻璃基板之间，且所述二气流引导组的所述多个气流出口分别朝向所述两玻璃基板。

7.根据权利要求1所述的降温装置，还包括：

多个板件，设置于所述多个气流出口的一侧，以改变所述气流自所述气流出口流出的方向。

8.根据权利要求1所述的降温装置，其中各所述气流引导组包括：

一扩散器，包括所述至少一气流入口及所述多个气流出口，且所述多个气流出口均匀地分布于各所述玻璃基板的一侧。

9.根据权利要求1所述的降温装置，其中各所述玻璃基板的长度及宽度分别大于1米。

10.一种降温装置的操作方法，用以对放置于一装卸腔中的至少一玻璃基板降温，所述降温装置的操作方法包括：

配置一降温装置至所述装卸腔中且位于所述玻璃基板的一侧，其中所述降温装置包括至少一气流引导组，各所述气流引导组包括至少一气流入口及多个气流出口，且所述多个气流出口朝向各所述玻璃基板；

各所述气流引导组间歇地朝各所述玻璃基板喷出一气流，以使各所述玻璃基板降温至一第一温度；以及

各所述气流引导组朝各所述玻璃基板连续喷气，以使所述装卸腔恢复至一大气压。

11.根据权利要求10所述的降温装置的操作方法，在各所述气流引导组间歇性地朝各所述玻璃基板喷出所述气流的步骤中，各所述气流引导组每次喷出等量的气体。

12.根据权利要求10所述的降温装置的操作方法，在各所述气流引导组间歇性地朝各所述玻璃基板喷出所述气流的步骤中，各所述气流引导组逐渐增加每次的喷气时间。

13.根据权利要求10所述的降温装置的操作方法，在各所述气流引导组朝各所述玻璃基板连续喷气的步骤中，各所述玻璃基板的温度自所述第一温度降至70℃以下。

14.根据权利要求10所述的降温装置的操作方法，其中各所述气流引导组包括：

一气流导入管，包括所述气流入口，一气流自所述气流入口导入；以及

多个气流导出管，分别连通于所述气流导入管，所述多个气流导出管包括所述多个气流出口。

15.根据权利要求14所述的降温装置的操作方法，其中所述降温装置还包括：

一架板，所述气流导入管及所述多个气流导出管固定于所述架板的一侧面，所述多个气流出口相对于所述架板的所述侧面的中心点成对设置。

16.根据权利要求10所述的降温装置的操作方法，其中所述降温装置还包括：

多个板件，设置于所述多个气流出口的一侧，以改变所述气流自所述气流出口流出的方向。

17.根据权利要求10所述的降温装置的操作方法，其中各所述玻璃基板的长度及宽度分别大于1米。