[发明专利]电子元件封装体及其制造方法有效
申请号: | 201210311618.0 | 申请日: | 2012-08-28 |
公开(公告)号: | CN102800636A | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 张静;宋崇申;张霞 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L23/38 | 分类号: | H01L23/38;H01L21/48 |
代理公司: | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人: | 朱海波;何平 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子元件 封装 及其 制造 方法 | ||
1.一种电子元件封装体,包括
位于封装体内部的耦合在一起的热电制冷单元和有源元件。
2.根据权利要求1所述的封装体,其中所述热电制冷单元通过高导热界面散热层与有源元件耦合。
3.根据权利要求1所述的封装体,还包括第一承载板和第二承载板,其中
所述有源元件和热电制冷单元夹在第一承载板和第二承载板之间;
所述有源元件和热电制冷单元的四周包裹着中间介质层。
4.根据权利要求3所述的封装体,其特征在于,第一承载板和第二承载板的外表面具有电路结构,并且还包括穿过第一承载板和第二承载板的电学接触通孔,实现热电制冷单元、有源元件的电学引出。
5.根据权利要求3所述的封装体,其特征在于,所述第一承载板和/或第二承载板的内表面具有电路结构,热电制冷单元和/或有源元件通过倒装焊技术连接到第一承载板和/或第二承载板的内表面上的电路结构。
6.根据权利要求1所述的封装体,其特征在于,所述热电制冷单元包括串联连接的至少一个N型制冷元件和至少一个P型制冷元件。
7.根据权利要求1所述的封装体,其特征在于,所述第一承载板和第二承载板的材料为有机树脂。
8.根据权利要求7所述的封装体,其特征在于,所述第一承载板和第二承载板的材料为环氧树脂、双马来酰亚胺-三嗪树脂或者高熔点的液晶聚合物。
9.根据权利要求3所述的封装体,其特征在于,所述中间介质层为聚酰亚胺、聚丙烯或者低熔点的液晶聚合物材料。
10.根据权利要求2所述的封装体,其特征在于,所述高导热界面散热层带有自粘性。
11.根据权利要求10所述的封装体,其特征在于,所述高导热界面散热层是导热胶,导热硅胶片、或基于纳米技术的新型界面散热材料。
12.一种电子元件封装体的制造方法,包括:
a)提供第一承载板,第一承载板的内表面上形成有图形化的电路结构;
b)将有源元件安装到第一承载板的内表面上;
c)将热电制冷单元贴装到有源元件上;
d)提供中间介质层和第二承载板,在中间介质层上形成有中间空腔,第二承载板的内表面上形成有图形化的电路结构;
e)将安装有有源元件的第一承载板、中间介质层、第二承载板热压积层;
f)制作并填充通孔;
g)在第一承载板和第二承载板的外表面上形成图形化的电路结构。
13.根据权利要求12所述的方法,其中步骤g)中,通过涂胶/压膜、曝光、显影、蚀刻和除胶/去膜,在第一承载板和第二承载板的外表面上形成图形化的电路结构。
14.根据权利要求12所述的方法,其中步骤b)中,所述有源元件的安装的方法为倒装焊。
15.根据权利要求12所述的方法,其中步骤c)中,所述热电制冷单元通过界面散热材料粘附到有源元件上。
16.根据权利要求12所述的方法,其中步骤f)中,通孔通过机械钻孔或激光钻孔形成,并通过化学沉积或电镀填充。
17.根据权利要求12所述的方法,其中所述热电制冷单元包括串联连接的至少一个N型制冷元件和至少一个P型制冷元件。
18.一种电子元件封装体的制造方法,包括:
a)提供有源元件,所述有源元件贴装在封装薄膜上;
b)将热电制冷单元贴装到有源元件上;
c)提供带有中间空腔的中间介质层,将中间介质层贴到封装薄膜上,所述有源元件和热电制冷单元嵌入中间介质层的中间空腔中;
d)形成覆盖中间介质层和热电制冷单元的顶部绝缘层;
e)在顶部绝缘层中形成顶部通孔,与热电制冷单元电学连接,并在顶部绝缘层的外表面上形成图形化的电路结构;
f)去掉封装薄膜,形成底部绝缘层;
g)在底部绝缘层中形成底部通孔,与有源元件电学连接,并在底部绝缘层的外表面上形成图形化的电路结构。
19.根据权利要求18所述的方法,其中步骤a)中,所述有源元件的有源面贴装在封装薄膜上。
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