[发明专利]一种硼纳米颗粒的制备方法无效
| 申请号： | 201210311147.3 | 申请日： | 2012-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN102849752A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 皮孝东;周述;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C01B35/02 | 分类号： | C01B35/02;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 颗粒 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种硼纳米颗粒的制备方法，其特征在于，包括：向等离子体腔中通入含有惰性气体及含硼气源的混合气体，使用射频源激发该混合气体，使所述的含硼气源发生分解反应，生成硼纳米颗粒，所述的硼纳米颗粒由气流携带出等离子体腔进行分离收集。
2.根据权利要求1所述的硼纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的含硼气源为乙硼烷或丁硼烷。
3.根据权利要求2所述的硼纳米颗粒的制备方法，其特征在于，硼纳米颗粒的尺寸为1-100纳米。
4.根据权利要求1所述的硼纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的惰性气体为氦气或氩气。
5.根据权利要求1所述的硼纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的等离子体腔的腔内气压为100-5000Pa。
6.根据权利要求1所述的硼纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的射频源的功率为1-1000W。
7.根据权利要求1～6任一权利要求所述的硼纳米颗粒的制备方法，其特征在于，在所述的分解反应发生时，向等离子体腔中通入氢气。
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