[发明专利]气动测微计的测量头以及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及气动测微计（air micrometer）的测量头及其制造方法。

背景技术

对于施加了高精度的精加工的工件，要求对其尺寸进行精密地测量，由此，应用将空气（air）作为测量介质对工件的尺寸进行测量的气动测微计。

例如，对工件的内径进行测量的内径测量用的气动测微计具备测量头，该测量头具有插入到形成于被测量物的孔（被测量孔）中的测量元件，并构成为：从在该测量元件的外周面形成的喷嘴口向被测量孔的内周面吹风，并根据与喷嘴口和被测量孔的内周面之间的间隙对应的空气的流量变化或者背压变化测量孔的内径、圆度等。

另外，在下述专利文献1中公开有能够在被测量孔中的轴向的多个部位同时进行内径的测量的气动测微计。图14中表示了示意性地表示专利文献1的气动测微计的说明图。该气动测微计的测量头具备测量元件117，该测量元件117被插入被测量孔，在该测量元件117的内部形成有多个沿着轴向延伸的纵向通道T1~T3和多个沿着径向延伸的横向通道Y1~Y3。多个纵向通道T1~T3绕测量元件117的轴心O在周向上隔开相等间隔地排列。多个横向通道Y1~Y3在轴向上互不相同的位置A~C形成于通过测量元件117的轴心O的直径线L1、L2、L3上，并在测量元件117的径向两侧面开口，从而形成喷嘴口119。

专利文献1：日本特开2009-150780号公报

如图14（a）所示，现有的气动测微计相对于一个棒状的测量元件117必须形成多个纵向通道T1~T3，因此需要复杂的孔加工，且制造所需的时间、费用也增大。特别是，对于多个纵向通道T1~T3来说，必须以收纳在测量元件117的有限的横截面积内的方式形成，因此其数量越多加工越困难。

另外，如图14（b）所示，多个纵向通道T1~T3分别形成于从测量元件的轴心O偏心的位置，因此，从各纵向通道T1~T3沿径向一侧延伸的横向通道Y1~Y3与沿径向另一侧延伸的横向通道Y1~Y3形成相互不同的长度a1、a2。因此，通过各横向通道Y1~Y3而从喷嘴口119喷出的空气的压力、流量等产生波动，这会对高精度的测量造成妨碍。

另外，一般对于这种气动测微计来说，在轴向的各部位A~C，喷嘴口119的数量越多则越能够进行高精度的测量，但在图14所示的气动测微计中，纵向通道T1~T3从测量元件117的轴心O偏心地形成，因此在轴向的各部位A~C中，在一个直径线L1~L3上仅能够形成两条的横向通道Y1~Y3，且喷嘴口119的数量也是最大为两个。因此，增加喷嘴口119从而提高测量精度的情况实质上不可能。

发明内容

本发明的目的在于提供制造容易、且能够进行高精度的测量的气动测微计的测量头以及其制造方法。

（1）本发明是气动测微计的测量头，其中，测量元件插入被测量孔，在该测量元件的内部形成有：多个纵向通道，这些纵向通道沿着轴向延伸；多个横向通道，这些横向通道在上述测量元件的轴向的多个部位沿着径向延伸并与上述各纵向通道连通，并且在上述测量元件的外表面开口，其特征在于，

上述测量元件由呈同心状配置并且沿径向重合的多个管构成，

上述纵向通道形成于径向的最内侧的管的中心、以及相互重合的管之间。

本发明的测量头的测量元件由呈同心状配置并且沿径向重合的多个管构成，且纵向通道形成于径向的最内侧的管的中心、以及相互重合的管之间。因此，任意的纵向通道都以测量元件的轴心为中心形成，且距测量元件的外表面的间距为恒定。因此，能够将从各纵向通道向径向外侧延伸的多个横向通道相互形成为相同的长度，从而能够抑制从该多个横向通道吹出的空气的压力等产生波动，能够进行高精度的测量。

另外，在相互重合的管之间形成的纵向通道能够例如通过在两个管之间形成间隙、槽而构成。因此，不需要相对于测量元件为了形成纵向通道而进行复杂的加工，从而能够容易低进行测量头的制造。

（2）优选在相互重合的两个管之间形成的所述纵向通道，由在上述两个管中的径向内侧的管的外周面形成的槽构成。

这样，通过在径向内侧的管的外周面形成构成纵向通道的槽，与在径向外侧的管的内周面形成上述槽的情况相比能够容易进行加工。因此，相对于测量元件能够更加容易地形成纵向通道。

（3）优选上述槽形成于上述管的整周。