[发明专利]制备热解氮化硼制品的气相沉积炉及方法

权利要求书

1.制备热解氮化硼制品的气相沉积炉，由炉体和炉盖构成，其特征在于，其中炉体设于相变保护套内，在炉体与相变保护套之间填充有相变保温介质形成相变保温层。

2.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品的气相沉积炉，其特征在于，所述相变保温介质为有机相变保温介质或无机相变保温介质，所述有机相变保温介质为石蜡、脂肪酸、高密度乙烯或多元醇，所述无机相变保温介质为结晶水合盐。

3.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品的气相沉积炉，其特征在于，所述炉体由内至外依次为具有炉腔的石墨筒、加热器、保温隔热层和具有夹层的外壳，石墨筒上设有石墨盖所述保温隔热层为具有中空部的夹层结构。

4.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品的气相沉积炉，其特征在于，所述炉体底部和/或炉体侧壁分别设有多个进气口，所述进气口为由不同原料气体进入的气管内外同心环套而成的套管进气口。

5.根据权利要求4所述的制备热解氮化硼制品的气相沉积炉，其特征在于，所述套管进气口由2-3个气管环套而成，内部的气管的端面和与其相邻的外部的气管的端面不在同一平面，端面之间的垂直距离不大于50mm。

6.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品的气相沉积炉，其特征在于，所述炉盖上具有出气口。

7.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品的气相沉积炉，其特征在于，其中炉体底部设有第一原料气体进入的第一进气口，炉体侧壁设有第二原料气体进入的第二进气口。

8.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品的气相沉积炉，其特征在于，所述加热器的表面覆有热解氮化硼保护层。

9.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品的气相沉积炉，其特征在于，还包括有模具固定架，模具固定架上设有位于模具与沉积炉进气口之间的挡板。

10.制备热解氮化硼制品的方法，其特征在于，采用权利要求1-9任一所述的气相沉积炉制备。