[发明专利]偏振激光波长计

权利要求书

1. 偏振激光波长计，其特征在于：该波长计由被测激光源、第一机械光学快门、标准激光器、第二机械光学快门、第一激光偏振干涉仪镜组、第二激光偏振干涉仪镜组、压电陶瓷、相位计、偏振计、滤波整形电路、相移信号发生器、PLL锁相回路和PC机组成，上述各部分的连接关系如下：

参考激光和被测激光分别通过第一机械快门和第二机械快门入射至第一激光偏振干涉仪镜组和第二激光偏振干涉仪镜组，参考激光和第一激光偏振干涉仪镜组、被测激光和第二激光偏振干涉仪镜组分别构成各自的激光偏振干涉仪，激光偏振干涉仪测量固定于压电陶瓷上的移动镜的位移并输出线性偏振激光束；激光偏振干涉仪输出的线性偏振激光束被发送至偏振计，偏振计内的光电接收器将该线性偏振激光束转化为电信号，该电信号与偏振计的电机脉冲输出信号同步，这两个信号经过滤波整形电路后成为同频率的TTL信号，这两个TTL信号发送至相位计测量相位，该相位计与PC机通过GPIB线连接，PC机实时读取相位测量值，同时通过计算已知波长的参考光束与未知波长的被测光束的相位差比值，得出被测激光的波长值；相移信号发生器、PLL锁相回路和压电陶瓷构成压电陶瓷伺服回路，使压电陶瓷在闭环状态下，按量化的步距值被一步一步推进。

2.根据权利要求1所述的偏振激光波长计，其特征在于：所述的第一激光偏振干涉仪镜组由第一偏振片、第一                                               玻片、分光镜、偏振分光镜、第一玻片、第一平面镜、立方反射镜、第二平面镜、第三平面镜、第二玻片、第三玻片组成。

3.根据权利要求1所述的偏振激光波长计，其特征在于：所述的第二激光偏振干涉仪镜组由第四平面镜、第二偏振片、第二玻片、分光镜、偏振分光镜、第一玻片、第一平面镜、立方反射镜、第二平面镜、第三平面镜、第二玻片、第三玻片组成。

4.根据权利要求1所述的偏振激光波长计，其特征在于：所述的第一机械快门或第二机械快门为光学机械快门，用于确保在一定时间范围内只有参考激光束和被测激光束的其中一束光束进入激光偏振干涉仪。

5.根据权利要求1所述的偏振激光波长计，其特征在于：所述的偏振计为商用偏振计，由电机带动旋转的玻片、线性偏振片和光电探测器组成；由光电探测器测得激光偏振干涉仪输出激光束的光强信号，该光强信号经傅里叶分析后，其四次谐波分量的相移信号与压电陶瓷的位移量和激光波长有关。

6.根据权利要求1所述的偏振激光波长计，其特征在于：所述的滤波整形电路包括高阶滤波、分频和波形转换三部分。

7.根据权利要求1所述的偏振激光波长计，其特征在于：所述的PLL锁相回路包括相移信号发生器、偏振干涉仪、异或电路、低通滤波器。