[发明专利]环状屏蔽部件、其构成零件和基板载置台

说明书

技术领域

本发明涉及适用于在处理室内载置基板的基板载置台的环状屏蔽部件、其构成零件和具有环状屏蔽部件的基板载置台。

背景技术

在以液晶显示装置（LCD）为首的FPD（Flat Panel Display：平板显示器）制造工序中，已知有对玻璃基板等的各种基板实施等离子体处理的基板处理装置。

这种基板处理装置具有：在处理室（以下称为‘腔室’）内载置基板的基板载置台；和隔着处理空间与该基板载置台相对配置的上部电极，基板载置台被供给有等离子体生成用的高频电力（RF），该基板载置台作为下部电极发挥功能，利用被导入至腔室内的处理空间的处理气体生成等离子体，利用生成的等离子体对载置于基板载置台的基板实施规定的等离子体处理。

通常，基板载置台的基板载置面呈矩形，在其外周部配置有作为环状屏蔽部件的屏蔽环，以提高等离子体的聚焦性以及确保电绝缘性。屏蔽环由氧化铝（Al₂O₃）等的绝缘性的陶瓷构成，通过螺栓（bolt）被固定在基板载置台的基材。由于屏蔽环是将矩形的基板载置面的周围包围的矩形的环状体，另外伴随近年来产业界的要求，处理基板正在大型化，因此一体成形较为困难，所以屏蔽环通常由多个构成零件（部件）组合形成。

图13是表示现有的屏蔽环结构的平面图。

在图13中，以包围下部电极（基板载置台）100的矩形的基板载置面106的周围的方式配置有屏蔽环105。屏蔽环105为在平面图上大致呈L字状的四个环构成零件101~104的组合体。各环构成零件101~104各自在L字状的角部的附近和与该角部连设的长尺寸部的顶端部附近的两个位置具有螺栓孔107，各环构成零件101~104通过安装于螺栓孔107的固定螺栓，被固定于构成下部电极100的基板载置面106的周围的凸缘部。

然而，屏蔽环105，根据不同的处理目的，通过来自被加热的下部电极100的传热以及等离子体的连续照射等被加热，产生热膨胀。此时，在相邻的环构成零件相互的抵接面中，一个环构成零件在空心箭头所表示的方向上挤压另一环构成零件。此时，另一环构成零件在空心箭头所表示的方向上仅仅位移螺栓孔107与固定螺栓（未图示）的间隙量，因此，在屏蔽环105和基板处理面106之间会产生间隙。

当屏蔽环105和下部电极100之间产生间隙时，等离子体进入该间隙，例如下部电极100的陶瓷喷镀被削减而露出基材，成为在下部电极100产生异常放电（电弧放电）或腐蚀（侵蚀）的原因。

为了防止产生屏蔽环105和下部电极100之间的间隙，提案设置有以吸引相邻的环构成零件的方式加力的加力部件的环构成零件、或设置有使各环构成零件朝向下部电极的中心部加力的加力部件的屏蔽环（例如：参照专利文献1）。

专利文献1：日本特开2008-311298号公报

发明内容

发明想解决的问题

然而，对构成屏蔽环105的各环构成零件101~104组合施加在特定的方向起作用的作用力的加力部件，未必容易。另一方，为了防止由于热膨胀引起的变形、移动，而将各环构成零件101~104固定于下部电极的基材100的固定螺栓的连结力加大时，存在对下部电极100的基材的连结时或热膨胀时，环构成零件101~104容易破损的问题。

本发明的目的在于：提供防止在环状屏蔽部件的构成零件和基板载置台之间产生间隙、并能够防止构成零件的破损的环状屏蔽部件、其构成零件和具备环状屏蔽部件的基板载置台。

用于解决问题的方法

为了达到上述目的，在技术方案1记载的环状屏蔽部件的构成零件，其在对矩形的基板实施等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置上述基板的基板载置台的矩形的载置面的周围的方式设置，上述环状屏蔽部件的构成零件的特征在于，包括沿上述矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件（长形状部件），具有：第一移动限制部，其设置于该长尺寸状物件的长度方向上的一端，限制上述构成零件的全方向（全方位）上的移动；第二移动限制部，在上述长度方向上与上述第一移动限制部离开地设置，限制上述构成零件的（在）上述长度方向以外的移动；和将上述构成零件连结到上述基板载置台的至少一个连结部。