[发明专利]用于酸性蚀刻液循环再生系统的铜粉收集系统无效
| 申请号： | 201210304555.6 | 申请日： | 2012-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN103628074A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张小波;张晓蓓;吴圣杰 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谢敏 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 酸性 蚀刻 循环 再生 系统 收集 | ||
【权利要求书】：
1.用于酸性蚀刻液循环再生系统的铜粉收集系统，其特征在于：包括收集槽（2），收集槽（2）分别连接有进液管（1）、出液管（11）和循环管（3），所述出液管（11）上设有自动阀门Ⅰ（10），出液管（11）端部连接输送泵（9）的进口端，输送泵（9）的出口端连接三通阀门（5）的进口端，三通阀门（5）的两个出口端分别连接循环管（3）和过滤管（6），所述循环管（3）上设有自动阀门Ⅱ（4），过滤管（6）上设有自动阀门Ⅲ（7），过滤管（6）端部还连接有离心过滤机（8）。
2.根据权利要求1所述的用于酸性蚀刻液循环再生系统的铜粉收集系统，其特征在于：所述自动阀门Ⅰ（10）、自动阀门Ⅱ（4）、三通阀门（5）和自动阀门Ⅲ（7）均与PCL自动控制系统连接。
3.根据权利要求1所述的用于酸性蚀刻液循环再生系统的铜粉收集系统，其特征在于：所述用于酸性蚀刻液循环再生系统的铜粉收集系统所有管道均采用PVC管道。
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