[发明专利]碱性蚀刻液循环再生设备

权利要求书

1.碱性蚀刻液循环再生设备，其特征在于：包括电解槽（1）和与电解槽（1）相连的温控槽（3），电解槽（1）上端设有将电解槽（1）和温控槽（3）连通的两根平行的溢流管（2），电解槽（1）下端设有循环管（8）和出水管（6），循环管（8）一端与电解槽（1）连通，另一端与温控槽（3）下端连通，循环管（8）上还设有循环泵（9），所述温控槽（3）底端还设有母液管（4）。

2.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生设备，其特征在于：所述出水管（6）在电解槽（1）的出口端设有控制阀门Ⅰ（10）。

3.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生设备，其特征在于：所述母液管（4）上设有控制阀门Ⅱ（7）。

4.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生设备，其特征在于：所述温控槽（3）的下端还设有排污管，排污管上设有开关阀门（5），所述排污管与出水管连通。

5.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生设备，其特征在于：所述碱性蚀刻液循环再生设备连接有PLC自动控制系统。