[发明专利]穿孔方法及激光加工装置

权利要求书

1.一种穿孔方法，在接合由第1材料形成的第1部件和由第2材料形成的第2部件而成的被加工物上形成从第1部件到达第2部件的激光加工孔，该穿孔方法具有以下工序：

最小发射数设定工序，在从第1部件侧向被加工物的任意区域照射脉冲激光光线来形成激光加工孔时，对脉冲激光光线的发射数进行计数，并且，对因激光光线的照射而由等离子发出的物质固有的光谱进行计测，将截止于发生变换时的脉冲激光光线的发射数设定为最小值，所述变换是指因激光光线的照射而发出的等离子的光谱从第1材料固有的光谱变化为第2材料固有的光谱；

最大发射数设定工序，将截止于从第1材料固有的光谱完全变化为第2材料固有的光谱时的脉冲激光光线的发射数设定为最大值；以及

穿孔工序，在实施了该最小发射数设定工序和该最大发射数设定工序后，当从第1部件侧向被加工物的规定加工位置照射脉冲激光光线来形成激光加工孔时，对脉冲激光光线的发射数进行计数，并且，对因激光光线的照射而由等离子发出的物质固有的光谱进行计测，在脉冲激光光线的发射数达到了该最小值、且因激光光线的照射而发出的等离子的光谱从第1材料固有的光谱变化为第2材料固有的光谱的情况下，停止脉冲激光光线的照射，在虽然脉冲激光光线的发射数达到了该最小值、但因脉冲激光光线的照射而发出的等离子的光谱未从第1材料固有的光谱变化为第2材料固有的光谱的情况下，继续脉冲激光光线的照射直至脉冲激光光线的发射数达到该最大值，之后停止照射。

2.一种激光加工装置，其在接合由第1材料形成的第1部件和由第2材料形成的第2部件而成的被加工物上形成从第1部件到达第2部件的激光加工孔，该激光加工装置具备：

被加工物保持单元，其保持被加工物；

激光光线照射单元，其对保持于该被加工物保持单元的被加工物照射脉冲激光光线；

移动单元，其使该被加工物保持单元和该激光光线照射单元进行相对移动；

等离子检测单元，其检测从该激光光线照射单元向被加工物照射脉冲激光光线而产生的等离子的光谱；以及

控制单元，其具有存储器和计数器，所述存储器存储形成激光加工孔所需的脉冲激光光线的发射数的最小值和最大值，所述计数器对该激光光线照射单元照射的脉冲激光光线的发射数进行计数，该控制单元根据该计数器的计数值和来自该等离子检测单元的检测信号来控制该激光光线照射单元，

该控制单元对该激光光线照射单元进行如下控制：当从第1部件侧向被加工物的规定加工位置照射脉冲激光光线来形成激光加工孔时，在脉冲激光光线的发射数达到了该最小值、且因激光光线的照射而发出的等离子的光谱从第1材料固有的光谱变化为第2材料固有的光谱的情况下，停止脉冲激光光线的照射，在虽然脉冲激光光线的发射数达到了该最小值、但因脉冲激光光线的照射而发出的等离子的光谱未从第1材料固有的光谱变化为第2材料固有的光谱的情况下，继续脉冲激光光线的照射直至脉冲激光光线的发射数达到该最大值，之后停止照射。