[发明专利]用于无尘室的输送系统

权利要求书

1.一种输送组件，具有：轨道，沿所述轨道的长度具有多个孔；多个电机，被附接在所述轨道上，所述电机的驱动轴延伸穿过所述孔；和多个辊子，用于连接到所述驱动轴，所述输送组件包括：

被限定在所述电机和所述轨道之间的间隙，所述间隙适用于收集并捕获从所述电机排出的颗粒。

2.根据权利要求1所述的输送组件，进一步包括用于遮盖所述孔并允许所述驱动轴延伸穿过的盖圈，其中所述间隙被形成在所述盖圈和所述电机之间。

3.根据权利要求1所述的输送组件，其中所述电机进一步包括围绕所述驱动轴的对准轮廓，该对准轮廓适于使所述电机对准以将所述电机附接在所述轨道上，其中所述间隙被限定在所述对准轮廓和所述轨道之间。

4.根据权利要求1和3所述的输送组件，其中所述轨道上的所述孔的尺寸适于与所述对准轮廓匹配，以使所述电机对准以将所述电机附接在所述轨道上，并且所述盖圈的尺寸与所述孔匹配，由此所述间隙被形成在所述盖圈和所述对准轮廓之间。

5.根据权利要求1所述的输送组件，其中所述间隙被形成在所述电机上的开口的正上方，所述电机的所述驱动轴延伸穿过所述开口。

6.根据权利要求2所述的输送机，其中所述盖圈由抗静电材料或静电放电材料构成。

7.根据权利要求1所述的输送机，其中所述间隙与所述驱动轴和所述轨道上的所述孔之间的间隙/空隙相比相对较大。

8.根据权利要求7所述的输送机，其中所述驱动轴和所述轨道上的所述孔之间的所述间隙/空隙在大约0.01mm-0.05mm的范围内。

9.根据前述权利要求中任一项所述的输送机，适于满足根据ISO14644-1ISO40.1μm 10counts的无尘室中的洁净度指标。

10.一种适用于根据前述权利要求中任一项所述的输送组件的盖圈。