[发明专利]高性能钽靶材的热锻工艺

权利要求书

1.一种高性能钽靶材的热锻工艺，其特征在于其工艺步骤为：首先将钽锭采用冷锻法进行一次锻造，随后酸洗、热处理后采用热锻法进行二次锻造，再次酸洗和热处理后采用热锻法进行三次锻造。

2.按照权利要求1所述的高性能钽靶材的热锻工艺，其特征在于上述冷锻法采用旋锻法，锻造加工率控制在25%－40%。

3.按照权利要求1所述的高性能钽靶材的热锻工艺，其特征在于上述热锻是指在800℃－1200℃温度条件下，对靶材坯料进行镦粗拔长。

4.按照权利要求3所述的高性能钽靶材的热锻工艺，其特征在于上述镦粗加工率控制在55%－80%。

5.按照权利要求3所述的高性能钽靶材的热锻工艺，其特征在于上述拔长时，锻造送进量L=0.6～0.8h，压下量Δh=0.12～0.15h，其中h为锻造前坯料的高度。

6.按照权利要求3所述的高性能钽靶材的热锻工艺，其特征是：在对靶材坯料进行镦粗拔长前，首先将其预热至200℃，然后在其上涂抹1—3mm厚的玻璃粉。

7.按照权利要求1所述的高性能钽靶材的热锻工艺，其特征在于上述三次锻造后还需酸洗和热处理。

8.按照权利要求1或7所述的高性能钽靶材的热锻工艺，其特征在于上述酸洗采用体积比为5：2 的HCl和HF混合酸液或者体积比为5 ：3：2的HCl、HF和H2SO4混合酸液。

9.按照权利要求1或7所述的高性能钽靶材的热锻工艺，其特征在于上述热处理温度为钽材料熔点的25%－45%，保温时间为60min。

10.按照权利要求1所述的高性能钽靶材的热锻工艺，其特征在于上述钽锭采用Ta含量≥99.99%，160mm≦直径≦300mm的铸锭。