[发明专利]具有无发射极区的太阳能电池及其制备方法有效
申请号: | 201210291496.3 | 申请日: | 2012-08-16 |
公开(公告)号: | CN102820343A | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 沈辉;陈达明 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司;中山大学 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/0352;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213031 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有无 发射极 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种具有无发射极区的太阳能电池,包括硅基体,在硅基体受光面上具有栅线,栅线分为细栅(2)和汇集细栅(2)电流的主栅(4),其特征是:在所述的硅基体的受光面上具有发射极区和无发射极区,无发射极区位于主栅覆盖区域内,主栅(4)和无发射极区的硅基体通过介质膜(5)隔离,细栅(2)与无发射极区(3)的硅基体不接触。
2.根据权利要求1所述的具有无发射极区的太阳能电池,其特征是:硅基体受光面的无发射极区(3)外的其他区域均为具有发射极的发射极区。
3.根据权利要求1所述的具有无发射极区的太阳能电池,其特征是:所述的发射极区的发射极为均匀发射极或选择性发射极。
4.根据权利要求1所述的具有无发射极区的太阳能电池,其特征是:所述的主栅(4)的边缘和无发射极区(3)边缘的距离为0.1mm~2mm。
5.根据权利要求1所述的具有无发射极区的太阳能电池,其特征是:所述的介质膜(5)为SiO2、SiNx:H、Al2O3、AlOx中的其中一种,或者其中几种的叠层膜。
6.一种权利要求1所述的具有无发射极区的太阳能电池的制备方法,其特征是:在热扩散或者离子注入掺杂工艺中,通过扩散掩模或离子注入挡板覆盖主栅(4)下的无发射极区(3),在无发射极区(3)外的其他区域形成均匀发射极或选择性发射极,然后在硅基体的受光面镀介质膜(5),在介质膜(5)上制作主栅(4)和细栅(2)。
7.根据权利要求6所述的具有无发射极区的太阳能电池的制备方法,其特征是:在介质膜(5)上制作主栅(4)和细栅(2)的具体工艺为:先印刷细栅(2),通过高温烧结,与硅基体的发射极形成欧姆接触,然后印刷低温烘烤的电极浆料,通过低温烘烤,形成主栅(4)。
8.根据权利要求6所述的具有无发射极区的太阳能电池的制备方法,其特征是:在介质膜(5)上制作主栅(4)和细栅(2)的具体工艺为:先印刷细栅(2),通过高温烧结,与硅基体的发射极形成欧姆接触,然后在主栅(4)区域采用先蒸镀再电镀增厚的方式制作主栅(4)。
9.根据权利要求7或8所述的具有无发射极区的太阳能电池的制备方法,其特征是:背面电极通过印刷的方式印刷至硅基体的背光面上,与印刷的细栅(2)一同高温烧结,与硅基体形成欧姆接触。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的