[发明专利]菲涅尔透镜表面的减反增透涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种菲涅尔透镜表面的减反增透涂层，其特征是：所述的减反增透涂层是粒径为10～100nm的实心SiO₂球形纳米粒子层，该减反增透涂层的表面具有粗糙结构。

2.根据权利要求1所述的菲涅尔透镜表面的减反增透涂层，其特征是：所述的减反增透涂层的表面有粒径为30～100nm的介孔SiO₂球形纳米粒子层，在菲涅尔透镜的表面得到超亲水自清洁的减反增透涂层，该超亲水自清洁的减反增透涂层的表面具有粗糙结构。

3.一种根据权利要求1所述的菲涅尔透镜表面的减反增透涂层的制备方法，其特征是，所述的制备方法包括以下步骤：

(1)将菲涅尔透镜在水中超声清洗，用惰性气体吹干，然后用氧等离子体进行处理；

(2)配制含有粒径为10～100nm的实心SiO₂球形纳米粒子的乙醇悬浮液，使用旋涂仪将上述悬浮液旋涂在步骤(1)经氧等离子体处理得到的菲涅尔透镜的纹面和光面；

(3)将步骤(2)制备得到的菲涅尔透镜自然晾干，在菲涅尔透镜的表面得到粒径为10～100nm的实心SiO₂球形纳米粒子层，并在菲涅尔透镜的表面得到减反增透涂层，该减反增透涂层的表面具有粗糙结构。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征是：使用旋涂仪，将含有粒径为30～100nm的介孔SiO₂球形纳米粒子的乙醇悬浮液旋涂在带有所述的减反增透涂层的菲涅尔透镜的纹面和光面；自然晾干，在所述的减反增透涂层的表面得到粒径为30～100nm的介孔SiO₂球形纳米粒子层，并在菲涅尔透镜的表面得到超亲水自清洁的减反增透涂层，该超亲水自清洁的减反增透涂层的表面具有粗糙结构。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征是：所述的用氧等离子体进行处理的时间为5～10分钟。

6.根据权利要求3所述的制备方法，其特征是：所述的旋涂的方法为：在将含有粒径为10～100nm的实心SiO₂球形纳米粒子的乙醇悬浮液滴加到菲涅尔透镜的纹面和光面后，用500～1000r/min的转速旋转10～20秒，再用1000～4000r/min的转速旋转30～60秒。

7.根据权利要求3或6所述的制备方法，其特征是：所述的含有粒径为10～100nm的实心SiO₂球形纳米粒子的乙醇悬浮液的质量浓度为0.1%～1.5%。

8.根据权利要求4所述的制备方法，其特征是：所述的旋涂的方法为：在将含有粒径为30～100nm的介孔SiO₂球形纳米粒子的乙醇悬浮液滴加到带有所述的减反增透涂层的菲涅尔透镜的纹面和光面后，用500～1000r/min的转速旋转10～20秒，再用1000～4000r/min的转速旋转30～60秒。

9.根据权利要求4或8所述的制备方法，其特征是：所述的含有粒径为30～100nm的介孔SiO₂球形纳米粒子的乙醇悬浮液的质量浓度为0.1%～1.5%。