[发明专利]平面光学元件面形的检测方法

权利要求书

1.一种用于反射率>13%的平面光学元件面形的检测方法，该检测方法所使用工具包括斐索干涉仪（1），第一标准镜（2），反射率4%，第二标准镜（3），反射率4%，第三标准镜（4），反射率的选择范围为4%～13%，一块衰减片（5），透射率介于0.30～0.36之间，其特征在于：该方法包括以下步骤：

①利用所述的斐索干涉仪（1），采用现有的绝对检验法对第一标准镜（2）、第二标准镜（3）和第三标准镜（4）进行绝对检验，得到第三标准镜（4）的绝对面形分布C(x,y)并存储；

②测量斐索干涉仪的系统误差：将第一标准镜（2）装夹在所述的斐索干涉仪（1）的参考镜调整架上，将所述的第三标准镜（4）装夹在斐索干涉仪（1）的待测镜调整架上，在第一标准镜（2）和第三标准镜（4）之间插入所述的衰减片（5），该衰减片（5）与所述的第一标准镜（2）的倾角<1°，利用所述的斐索干涉仪（1）测量第三标准镜（4）的波面数据W₀(x,y)并存储，所述的斐索干涉仪（1）按下列公式计算出斐索干涉仪（1）的系统误差W_{sys_err}：

W_{sys_err}=W₀(x，y)-C(x，y)；

③将待测镜调整架上的第三标准镜（4）更换为待测平面光学元件（6），利用斐索干涉仪（1）测量待测平面光学元件（6）波面数据W₁(x,y)并存储；

④所述的斐索干涉仪（1）利用下列公式计算出待测平面光学元件（6）的绝对面形分布W_test(x，y)：

W_test(x，y)=W₁(x，y)-W_{sys_err}=W₁(x，y)-[W₀(x，y)-C(x，y)]。

2.根据权利要求1所述的平面光学元件面形的检测方法，其特征在于所述的绝对检验方法为奇偶函数法、旋转对称法或镜面对称法。