[发明专利]光电探测器装置及用于偏压光电倍增管的方法在审

专利信息
申请号: 201210289479.6 申请日: 2012-08-14
公开(公告)号: CN103364082A 公开(公告)日: 2013-10-23
发明(设计)人: M·海菲茨;P·玛古利斯 申请(专利权)人: 应用材料以色列公司
主分类号: G01J1/44 分类号: G01J1/44;H01J43/04
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆勍
地址: 以色列瑞*** 国省代码: 以色列;IL
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摘要:
搜索关键词: 光电 探测器 装置 用于 偏压 光电倍增管 方法
【权利要求书】:

1.一种光电探测器装置,包含:

光电倍增管,所述光电倍增管包含多个电极,所述多个电极包含光电阴极、阳极、第一倍增电极、多个中间倍增电极以及最后倍增电极;以及

偏压电路,所述偏压电路包含一序列的电压跟随器元件、分压器以及电流源;

其中所述分压器跨高压电源而耦合;

其中不同的倍增电极耦合至所述一序列的电压跟随器元件中的不同电压跟随器元件;

其中不同的电压跟随器元件的控制输入端耦合至所述分压器的不同接合处;

其中所述电流源耦合至所述分压器、所述一序列的电压跟随器元件、所述阴极以及所述高压电源的负极;及

其中所述阳极耦合至负载元件,所述负载元件耦合至所述高压电源的正极,并且设置为接收所述阳极的输出信号并将所述输出信号转换为所述光电探测器装置的输出信号。

2.如权利要求1所述的光电探测器装置,其特征在于,所述电流源耦合在所述第一倍增电极与所述阴极之间。

3.如权利要求1所述的光电探测器装置,其特征在于,所述一序列的电压跟随器元件中的电压跟随器元件耦合在所述阴极与所述第一倍增电极之间,及所述电流源耦合在高压电源的负极与所述阴极之间。

4.如权利要求1所述的光电探测器装置,其特征在于,所述电压跟随器元件包含晶体管。

5.如权利要求1所述的光电探测器装置,其特征在于,所述电压跟随器元件包含晶体管及齐纳二极管。

6.如权利要求1所述的光电探测器装置,其特征在于,所述偏压电路还包含第一序列的电容器,所述电容器各自并联耦接至所述分压器的一序列的电阻器中的一电阻器。

7.如权利要求1所述的光电探测器装置,其特征在于,所述偏压电路还包含第一电容器,所述第一电容器并联耦接至所述分压器。

8.如权利要求7所述的光电探测器装置,其特征在于,包含第二序列的电容器,其中所述第二序列的电容器中的每一电容器耦合在一对倍增电极之间。

9.如权利要求1所述的光电探测器装置,其特征在于,包含第二序列的电容器,其中所述第二序列的电容器中的每一电容器耦合在一对倍增电极之间。

10.如权利要求1所述的光电探测器装置,其特征在于,所述电流源设置为供应恒定电流至所述分压器,并且其中无论所述倍增电极消耗的电流如何变化,所述电压跟随器元件均设置为输出基本上恒定的电压。

11.如权利要求1所述的光电探测器装置,其特征在于,所述光电探测器装置设置为在一增益下操作,所述增益不超过10,000。

12.一种操作光电探测器装置的方法,所述方法包含:

将照射在光电探测器装置的光电倍增管的阴极上的光转换为所述光电探测器装置的输出信号;以及

通过所述光电探测器装置的偏压电路,维持所述光电倍增管的多个倍增电极中每一倍增电极的电压基本上恒定,而不论由所述倍增电极消耗的电流如何变化;

其中所述多个倍增电极包括第一倍增电极、多个中间倍增电极及最后倍增电极;其中所述光电倍增管还包含阳极及阴极;

其中所述偏压电路包含一序列的电压跟随器元件、分压器及电流源;其中所述分压器跨高压电源而耦合;其中不同的倍增电极耦合至所述一序列的电压跟随器元件中的不同电压跟随器元件;其中不同的电压跟随器元件的控制输入端耦合至所述分压器的不同接合处;其中所述电流源耦合至所述分压器、所述一序列的电压跟随器元件、所述高压电源的负极以及所述阴极;以及其中所述阳极耦合至负载元件,所述负载元件耦合至所述高压电源的正极,并且设置为接收所述阳极的输出信号并将所述输出信号转换为所述光电探测器装置的输出信号。

13.如权利要求12所述的方法,其特征在于,所述电流源耦合在所述第一倍增电极与所述阴极之间。

14.如权利要求12所述的方法,其特征在于,所述一序列的电压跟随器元件中的电压跟随器元件耦合在所述阴极与所述第一倍增电极之间,且所述电流源耦合在高压电源的负极与所述阴极之间。

15.如权利要求12所述的方法,其特征在于,包含在一增益下操作所述光电探测器装置,所述增益不超过10,000。

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