[发明专利]光敏酚醛清漆树脂和包含其的正性光敏树脂组合物

权利要求书

1.一种光敏酚醛清漆树脂，包含：

由下列化学式1表示的结构单元和由下列化学式2表示的结构单元，

[化学式1]

[化学式2]

其中，在化学式1和2中，

R¹¹和R¹²独立地为氢或醌二叠氮磺酰基，其中所述光敏酚醛清漆树脂中的R¹¹和R¹²的50%以上为醌二叠氮磺酰基，

R¹³和R¹⁴独立地为C1至C7烷基，并且

当在所述光敏酚醛清漆树脂中化学式1的结构单元数为x，并且化学式2的结构单元数为y时，

x+y为2至30，并且x/(x+y)为0.6至0.95。

2.根据权利要求1所述的光敏酚醛清漆树脂，其中，所述酚醛清漆树脂具有500至15,000的重均分子量(Mw)。

3.根据权利要求1所述的光敏酚醛清漆树脂，其中，所述醌二叠氮磺酰基选自由下列化学式6表示的1,2-萘醌二叠氮-4-磺酰基、由下列化学式7表示的1,2-萘醌二叠氮-5-磺酰基以及由下列化学式8表示的1,2-苯醌二叠氮-4-磺酰基：

[化学式6]

[化学式7]

[化学式8]

4.一种正性光敏树脂组合物，包含：

(A)聚苯并噁唑前体，包含选自由下式化学式3表示的结构单元、由下列化学式4表示的结构单元、以及它们的组合的结构单元；

(B)根据权利要求1至3中任一项所述的光敏酚醛清漆树脂；以及

(C)溶剂：

[化学式3]

[化学式4]

其中，在化学式3和4中，

X¹独立地为取代或未取代的C6至C30芳族有机基团或者取代或未取代的C1至C30脂环族有机基团，

X²独立地为取代或未取代的C6至C30芳族有机基团、取代或未取代的C3至C30脂环族有机基团、或由下列化学式5表示的官能团，

Y¹和Y²独立地为取代或未取代的C6至C30芳族有机基团或者取代或未取代的C3至C30脂环族有机基团，并且

当在所述聚苯并噁唑前体中化学式3的结构单元的mol%为m，并且化学式4的结构单元的mol%为n，且m+n为100mol%时，

m为60mol%至95mol%，并且n为5mol%至40mol%，

[化学式5]

其中，在化学式5中，

R²¹至R²⁴独立地为氢、取代或未取代的C1至C30烷基、取代

或未取代的C6至C30芳基、取代或未取代的C1至C30烷氧基、

或羟基，

R²⁵至R²⁶独立地为单键、取代或未取代的C1至C30亚烷基、

或取代或未取代的C6至C30亚芳基，并且

k是1至50的整数。

5.根据权利要求4所述的正性光敏树脂组合物，其中，所述聚苯并噁唑前体具有3,000至300,000的重均分子量(Mw)。

6.根据权利要求4所述的正性光敏树脂组合物，其中，基于100重量份的所述聚苯并噁唑前体(A)，所述正性光敏树脂组合物包含5重量份至150重量份的所述光敏酚醛清漆树脂(B)；和余量的所述溶剂(C)。

7.根据权利要求4所述的正性光敏树脂组合物，其中，基于100重量份的所述聚苯并噁唑前体，所述正性光敏树脂组合物还包含0.1重量份至30重量份的硅烷化合物。

8.一种通过使用根据权利要求4所述的正性光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜。

9.一种包括根据权利要求8所述的光敏树脂膜的半导体装置。