[发明专利]一种磁悬浮分子泵的型号识别方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及流体设备领域，具体地说是一种磁悬浮分子泵的识别方法及系统。

背景技术

分子泵是一种常用的真空获得设备，它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，使气体被压缩并驱向至排气口，再使气体被前级抽走的一种真空泵。磁悬浮分子泵是利用磁轴承将分子泵转子悬浮在空中，可以实现转子在高速工作过程中无接触、无摩擦、无需润滑的一种分子泵。由于磁悬浮分子泵具有上述优点，因此被广泛的应用到高真空度、高清洁度的真空环境获得领域中。

现有技术中的磁悬浮分子泵系统如图1所示，包括磁悬浮分子泵、位移检测装置18、转速检测装置19以及磁悬浮分子泵控制器2，其中，所述磁悬浮分子泵包括叶轮1，泵体3，第一径向保护轴承4，第一径向传感器5，第一径向磁轴承6，转子轴7，电机8，第二径向磁轴承9，第二径向传感器10，第二径向保护轴承11，轴向保护轴承12，第一轴向磁轴承13，推力盘14， 第二轴向磁轴承15， 轴向传感器16和接线端子17。

不同型号的磁悬浮分子泵其转轴和叶轮的结构均不相同，使用的磁轴承和电机的尺寸、功率和驱动策略均不同。为了满足不同型号磁悬浮分子泵的控制，需要设计不同的磁悬浮分子泵控制器对其进行控制。目前，磁悬浮分子泵的型号繁多，不同型号的分子泵所需的驱动控制程序是不同的，现有的磁悬浮分子泵控制器中只内置有一种驱动控制程序，只能驱动和控制一种分子泵，因此不同型号的磁悬浮分子泵只能与匹配的磁悬浮分子泵控制器配合使用，也就是说现有技术中磁悬浮分子泵有多少种型号就需要多少种与之对应的磁悬浮分子泵控制器。这样的话，一方面每种型号的分子泵只能与型号匹配的磁悬浮分子泵控制器配合才能使用，这给磁悬浮分子泵使用造成很多不便，制约了分子泵的广泛应用；另一方面，重复制造只是内置驱动控制程序不同的磁悬浮分子泵控制器，也使得磁悬浮分子泵控制器的利用率低。此外，通过实验证实，对于磁悬浮分子泵控制器来说，在满足电机和磁轴承驱动要求的情况下，不同型号的磁悬浮分子泵只需要改变磁轴承和电机的控制策略即可。

为了解决上述技术问题，中国专利文献CN101761501B中公开了一种分子泵型号的识别方法，包括以下步骤①根据所述分子泵的型号种类数，在所述分子泵上设置型号标识；②在分子泵控制器上设置能够识别所述型号标识的识别装置；③利用内置于所述分子泵控制器中的扫描识别模块来控制所述识别装置识别出所述分子泵的型号；④根据识别结果调用对应型号所述分子泵的驱动和控制程序。在该技术方案中，通过设置识别插针和识别插孔、识别对应的高低电平的方式来实现分子泵型号的识别，当所述分子泵控制器对应的泵的种类较多时，则需要设置多个插针和插孔，需要使用多根线连接，设置复杂。

发明内容

为此，本发明所要解决的是磁悬浮分子泵及其控制器的互换性的技术问题，从而提出一种结构简单、调整方便的磁悬浮分子泵的型号识别方法及系统。

为解决上述技术问题，本发明提供一种磁悬浮分子泵的型号识别方法，包括如下步骤：

（1）     对每个型号的磁悬浮分子泵进行安装调试，将各个型号的磁悬浮分子泵的控制策略存储在磁悬浮分子泵控制器内的存储介质内；

（2）     在不同型号的磁悬浮分子泵的泵体内安装不同阻抗的测试电路，每种相同型号的磁悬浮分子泵的泵体内测试电路阻抗的数值大小相同；

（3）     建立每种型号磁悬浮分子泵泵体内的测试电路阻抗与该型号磁悬浮分子泵控制策略的对应关系数据库，并存储在所述磁悬浮分子泵控制器内的存储介质中；

（4）     在所述磁悬浮分子泵控制器上安装一个具有固定阻抗的标准电路，当所述磁悬浮分子泵控制器与所述磁悬浮分子泵连接时，所述标准电路与所述磁悬浮分子泵泵体内的测试电路形成检测电路，利用检测电路可得出所述测试电路的阻抗；

（5）     所述磁悬浮分子泵控制器根据所述测试电路阻抗的数值大小，在所述对应关系数据库中进行查询，得出所述测试电路阻抗对应的控制策略；

（6）     所述磁悬浮分子泵控制器调用所述控制策略，控制所述磁悬浮分子泵稳定运行。

本发明所述的磁悬浮分子泵的型号识别方法，所述测试电路和标准电路均为电阻、电容或电感组成的电路网络。

本发明所述的磁悬浮分子泵的型号识别方法，所述测试电路为泵内电阻网络、所述标准电路为阻值固定的标准电阻网络时，所述对应关系数据库中存储为每种型号磁悬浮分子泵泵体内的泵内电阻网络的阻值与该型号的磁悬浮分子泵对应的控制策略。