[发明专利]BST薄膜经时击穿的调控方法无效
申请号: | 201210284424.6 | 申请日: | 2012-08-10 |
公开(公告)号: | CN102820420A | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 吴传贵;蔡光强;罗文博;彭强祥;孙翔宇;柯淋;张万里;王小川 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L37/02 | 分类号: | H01L37/02 |
代理公司: | 成都惠迪专利事务所 51215 | 代理人: | 刘勋 |
地址: | 610000 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | bst 薄膜 击穿 调控 方法 | ||
1.BST薄膜经时击穿的调控方法,其特征在于,包括下述步骤:
A、将带有BST薄膜的双电容结构的一个输入电极接地;
B、对另一个输入电极施加方波偏压。
2.如权利要求1所述的BST薄膜经时击穿的调控方法,其特征在于,所述步骤B中,施加的偏压为对称方波。
3.如权利要求1所述的BST薄膜经时击穿的调控方法,其特征在于,所述方波的幅值为±0.5~20V,周期为10~1000s,占空比为30~80%。
4.如权利要求1所述的BST薄膜经时击穿的调控方法,其特征在于,所述方波的幅值为±6V,周期为200s,占空比为50%。
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