[发明专利]分子泵整体涡轮转子自适应加工方法

权利要求书

1.一种分子泵整体涡轮转子自适应加工方法，其特征是：包括以下步骤：

①首先将涡轮转子毛坯装夹在铣床分度盘上，然后在工作台上安装直线位移传感器，传感器测量头与转子毛坯直接接触，控制转子毛坯缓慢旋转，其随分度盘旋转时测量头产生相对位移，传感器输出位移信号；

②将位移信号存储在寄存器中，经过信号处理拟合成位移曲线，由此曲线得到转子毛坯最大偏心距及最大偏心距所对应的转子毛坯偏移角度；

③由转子毛坯最大偏心距及偏移角度，经解析几何公式计算得到当前测量的转子毛坯加工层圆心在理想位置坐标系中的位置坐标；

④通过上述步骤1至3测量计算两组转子加工层圆心坐标，由两圆心坐标确定转子实际轴线的数学模型，再计算得到转子各加工层圆心在理想位置坐标系中的坐标；

⑤由各加工层圆心的实际坐标求出平移变换矩阵，由分度盘每次的旋转角度求出旋转变换矩阵；基于矩阵变换理论计算转子在每一加工层中各加工位置的圆心在理想位置坐标系中的坐标值；

⑥转子各加工位置在X/Y/Z轴向上的偏移量用上述计算出的各加工位置的圆心在理想位置坐标系中的坐标值表示，基于各加工位置圆心坐标的计算结果，利用编制的中间转换器，一次性计算各加工位置的偏移量并修正原有数控加工程序，最终实现自适应数控加工。

2.根据权利要求1所述的分子泵整体涡轮转子自适应加工方法，其特征是：所述直线位移传感器的精度为2微米。

3.根据权利要求1所述的分子泵整体涡轮转子自适应加工方法，其特征是：所述偏移量是转子实际位置相对于理想位置的位移，偏移分量计算包括平移矩阵变换及旋转矩阵变换两部分。