[发明专利]硅片切割废液采用泡沫浮选回收分离硅和碳化硅粉体方法

权利要求书

1.硅片切割废液采用泡沫浮选回收分离硅和碳化硅粉体方法，其特征是，包括下述步骤：

(1)在切割废液中添加分离剂进行固液分离得到固体物；

(2)用蒸馏水洗涤所得的固体物至中性，离心干燥备用；

(3)配成含固体物与浮选剂混合成悬浊液，调整至所需的PH值后搅拌；

(4)将悬浊液加入到浮选机，以一定转速搅拌的同时，从下部通入所需流量的气体，进行浮选试验；

(5)收集上浮泡沫及沉淀物的粒子，过滤，水洗，干燥，获得碳化硅和硅粉体。

2.根据权利要求1所述的硅片切割废液采用泡沫浮选回收分离硅和碳化硅粉体方法，其特征是，所述分离剂为盐酸、硫酸、硝酸、甲酸、乙酸中的一种或几种，分离剂的浓度为0.35mol/L～1.5 mol/L，反应时间为2～7小时，反应温度为室温或者60℃～80℃，其中固体份与分离剂的比为1:1到1:5（g/mL）。

3.根据权利要求1所述的硅片切割废液采用泡沫浮选回收分离硅和碳化硅粉体方法，其特征是，所述的浮选剂包含捕收剂、起泡剂、pH调整剂、辅助剂；其中捕收剂为十二烷基三甲基氯化铵、辛基三甲基氯化铵、氨基羟基硅氧烷的一种或几种；起泡剂为松节油或二号油一种或两种；PH调整剂为盐酸、硫酸、硝酸、甲酸、乙酸、氨水的一种或几种；辅助剂为蒸馏水、蜂蜡、石蜡、硬脂酸、抗坏血酸， 维生素 E；辅助剂的质量百分含量为蒸馏水30%-50%，石蜡10%-20%，蜂蜡10%-20%，硬脂酸0.1%-1%，抗坏血酸0.05%-1%， 维生素E 0.05%-1%。