[发明专利]一种柔性管状微电极及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性管状微电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步、截取一段聚合物毛细管，在其表面溅射金属层；

第二步、在溅射金属层的毛细管表面沉积聚合物绝缘层；

第三步、使用激光在指定部位刻蚀掉毛细管表面聚合物绝缘层，露出金属层电极点，得到管状微电极。

2.根据权利要求1所述的柔性管状微电极的制备方法，其特征是，所述的聚合物毛细管具体是指聚酰亚胺毛细管、聚四氟乙烯毛细管、聚对苯二甲酸乙二酯毛细管和聚乙烯毛细管中一种。

3.根据权利要求1或2所述的柔性管状微电极的制备方法，其特征是，所述的聚合物毛细管外径为0.1～1毫米。

4.根据权利要求1所述的柔性管状微电极的制备方法，其特征是，所述的在聚合物毛细管表面溅射的金属具体是指金、铂、铱、钛/钨/金、钛/钨/铂或钛/钨/铱，溅射金属厚度为100～200纳米，为电极导电通路层，表面贵金属材料不易被腐蚀而变质。

5.根据权利要求1所述的柔性管状微电极的制备方法，其特征是，所述的沉积聚合物绝缘层具体是指气象沉积聚对二甲苯或涂覆聚酰亚胺。

6.根据权利要求1或5所述的柔性管状微电极的制备方法，其特征是，所述的沉积聚合物绝缘层沉积厚度为3～10微米。

7.根据权利要求1所述的柔性管状微电极的制备方法，其特征是，所述的激光波长小于或等于355纳米，刻蚀宽度为10～100微米。

8.一种采用权利要求1-7所述方法得到的柔性管状微电极，其特征是：所述微电极由最内层的聚合物管层、中间层的溅射金属层、最外层的聚合物绝缘层和除去聚合物绝缘层的电极点部位组成。

9.根据权利要求8所述的柔性管状微电极，其特征是，所述最内层的聚合物管层为柔性管状微电极的结构层，其内部中空管路为流体通道。

10.根据权利要求8所述的柔性管状微电极，其特征是，所述中间层的溅射金属层为柔性管状微电极的导电通路，使用溅射的方式与内层的聚合物管层相连接。

11.根据权利要求8所述的柔性管状微电极，其特征是，所述最外层的聚合物绝缘层为柔性管状微电极的表面绝缘层，使用气相沉积或涂覆的方式与内层的溅射金属层相连接。

12.根据权利要求8所述的柔性管状微电极，其特征是，所述除去聚合物绝缘层的电极点部位为柔性管状微电极的电极点，通过激光刻蚀去除表面聚合物绝缘层露出溅射金属层形成。