[发明专利]钽靶材及钽靶材组件的制造方法

权利要求书

1.一种钽靶材的制造方法，其特征在于，包括：

提供钽锭；

对所述钽锭进行锻造，形成第一钽靶材坯料；

对所述第一钽靶材坯料进行轧制，形成第二钽靶材坯料；

对所述第二钽靶材坯料进行第一热处理，形成钽靶材，所述第一热处理分为三阶段：

第一阶段热处理温度为550℃～750℃，第一阶段热处理保温时间为30分钟～90分钟；

第一阶段热处理保温结束后升温至第二阶段热处理温度，所述第二阶段热处理温度为750℃～950℃，第二阶段热处理保温时间为30分钟～90分钟；

第二阶段热处理保温结束后升温至第三阶段热处理温度，所述第三阶段热处理温度为950℃～1200℃，第三阶段热处理保温时间为30分钟～90分钟。

2.如权利要求1所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，对所述第一钽靶材坯料进行轧制之前，还包括：对所述第一钽靶材坯料进行第二热处理的步骤；

对所述第一钽靶材坯料进行第二热处理包括：将所述第一钽靶材坯料放入加热炉中，设置加热炉的温度为第二热处理的温度，所述第二热处理的温度为1000℃～1200℃，保温时间为30分钟～90分钟。

3.如权利要求1所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，所述对所述钽锭进行锻造包括对所述钽锭进行热锻或冷锻。

4.如权利要求3所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，对所述钽锭进行热锻包括：

将所述钽锭放入空气炉中加热至850℃～950℃；

将加热后的钽锭从空气炉中取出放在锻压机上；

利用锻压机的锻锤对加热后的钽锭进行锻压。

5.如权利要求1所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，对所述第一钽靶材坯料进行轧制包括对所述第一钽靶材坯料进行热轧或冷轧。

6.如权利要求5所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，对所述第一钽靶材坯料进行热轧包括：

将所述第一钽靶材坯料放入加热炉中，设置加热炉的温度为热轧温度，所述热轧温度为800℃～1200℃；之后从加热炉中取出所述第一钽靶材坯料放入压延机上进行多道次轧制，每道次轧制后旋转预设角度再进行下一道次的轧制，多道次轧制后的总变形量为70％～90％。

7.如权利要求2所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，当所述锻造为热锻时，形成第一钽靶材坯料时，对所述第一钽靶材坯料进行第二热处理之前，还包括：对所述第一钽靶材坯料进行第一冷却的步骤；

对所述第一钽靶材坯料进行第二热处理之后和对第一钽靶材坯料进行轧制之前，还包括：对第二热处理后的第一钽靶材坯料进行第二冷却的步骤。

8.如权利要求7所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，所述第一冷却、第二冷却为水冷，冷却至室温。

9.如权利要求1所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，所述钽锭的纯度大于等于99.99％。

10.一种钽靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：

采用权利要求1～9任一项所述的钽靶材制造方法获得钽靶材；

将所述钽靶材进行机械加工；

将机械加工后的钽靶材与背板进行焊接形成钽靶材组件。