[发明专利]一种光诱导电镀制备太阳能电池表面栅状电极的方法及装置

权利要求书

1.一种光诱导电镀制备太阳能电池表面栅状电极的方法，包括硅片预处理、电镀状态设置、遮光板设置、光诱导电镀工序，具体包括：

A、硅片预处理：将硅片原材经过制绒、扩散、刻蚀、去磷并制备硅片背电极； 

B、电镀状态设置：将硅片背电极与电镀池中对电极电性连接，将硅片表面向下悬置于电镀液中； 

C、遮光板设置：在硅片表面设置栅状遮光板；

D、光诱导电镀：接通光源，使光线透过栅状遮光板上的透光孔照射于硅片表面，通过光诱导电镀方式将金属离子沉积于硅片表面形成栅状电极接触层。

2.根据权利要求1所述的光诱导电镀制备太阳能电池表面栅状电极的方法，其特征是：所述的对电极连接恒流电源，所述的硅片背电极与对电极电路中串联或并联电量测量装置。

3.根据权利要求1所述的光诱导电镀制备太阳能电池表面栅状电极的方法，其特征是：所述的硅片表面与电镀液接触，所述的光源照射方向与硅片表面垂直。

4.根据权利要求1所述的光诱导电镀制备太阳能电池表面栅状电极的方法，其特征是：所述的对电极为Ni-W-P、Co-W-P、Co-W、Ni-W、Co-Mo、Ni-Mo、Co-P、Ni-P合金型电极或Co、Ni金属型电极或石墨、玻碳惰性电极。

5.根据权利要求1所述的光诱导电镀制备太阳能电池表面栅状电极的方法，其特征是：所述的电镀液为CoSO₄或/和NiSO₄电镀液，或CoSO₄、NiSO₄分别与Na₂WO₄和Na₃Citrate或N(C₂H₄OH)₃或甘氨酸钠组成的复合电镀液，或CoSO₄、NiSO₄分别与Na₂MoO₄和Na₃Citrate或N(C₂H₄OH)₃或甘氨酸钠组成的复合电镀液。

6.根据权利要求1所述的光诱导电镀制备太阳能电池表面栅状电极的方法，其特征是：所述的电镀液为浓度0.01mol/L～1mol/L 的CoSO₄或/和NiSO₄电镀液，或0.01～0.5mol/L 的CoSO₄或NiSO₄分别与0.01～0.5mol/L的 Na₂WO₄和0.02～1mol/L 的Na₃Citrate或N(C₂H₄OH)₃或甘氨酸钠组成的复合电镀液，或0.01～0.5mol/L的CoSO₄或NiSO₄分别与0.01～0.5mol/L的Na₂MoO₄和0.02～1mol/L的Na₃Citrate或N(C₂H₄OH)₃或甘氨酸钠组成的复合电镀液。

7.根据权利要求1所述的光诱导电镀制备太阳能电池表面栅状电极的方法，其特征是：光诱导电镀工序制备太阳能电池栅状电极接触层后，对接触层进行强化电镀或光诱导电镀，在接触层上强化沉积Cu、Ag金属或Cu-Cr、Cu-Zn合金，或/和强化沉积助焊层。

8.一种实现权利要求1所述的光诱导电镀制备太阳能电池表面栅状电极的方法的装置，包括电镀池（1）、光源（2）、导线（7）、对电极（9），所述的电镀池（1）底部设置光源（2），所述的电镀池（1）两侧设置对电极（9），所述的对电极（9）与硅片背电极（82）连接，所述的电镀池（1）底部或下侧面设置有排水口和/或加热装置，其特征是：所述的电镀池（1）上部设置栅状遮光板（10），且置于硅片N区（81）表面下方。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征是：所述的对电极（9）连接恒流电源；所述的光源（2）为自然光、照明灯具或激光器光源，所述的照明灯具为荧光灯、白炽灯、LED灯、卤素灯、高压气体放电灯中的任意一种，所述的光源为恒定光强的光源或光强变化的光源。

10.根据权利要求8所述的装置，其特征是：所述的栅状遮光板（10）设置于纵横向调节机构上，以调节栅状遮光板（10）与硅片N区（81）表面间距离，以及平行移动栅状遮光板（10）。